意法半導體與A*STAR和ULVAC攜手合作，在新加坡成立世界首個(gè)“Lab-in-Fab”實(shí)驗室，推進(jìn)壓電式MEMS技術(shù)應用

橫跨多重電子應用領(lǐng)域的全球領(lǐng)先的半導體供應商、MEMS(微機電系統)技術(shù)的世界領(lǐng)導者意法半導體(STMicroelectronics,簡(jiǎn)稱(chēng)ST；紐約證券交易所代碼:STM) 于日前宣布，與新加坡A * STAR IME研究所和日本領(lǐng)先的制造工具供應商ULVAC合作，在意法半導體新加坡晶圓廠(chǎng)內聯(lián)合創(chuàng )辦一條以壓電式MEMS技術(shù)為重點(diǎn)研究方向的8英寸(200mm)晶圓研發(fā)生產(chǎn)線(xiàn)。這個(gè)全球首創(chuàng )的“Lab-in-Fab”研發(fā)生產(chǎn)線(xiàn)整合三個(gè)合作方在壓電材料、壓電式MEMS技術(shù)和晶圓制造工具領(lǐng)域的領(lǐng)先技術(shù)和優(yōu)勢互補的研發(fā)能力，促進(jìn)新材料和工藝技術(shù)創(chuàng )新發(fā)展，最終加快企業(yè)客戶(hù)的產(chǎn)品開(kāi)發(fā)。

■   與A*STAR的微電子研究所（IME）和日本制造工具供應商ULVAC(愛(ài)發(fā)科株式會(huì )社)合作，以壓電式MEMS技術(shù)為重點(diǎn)研發(fā)方向

■   首創(chuàng )概念，旨在加快概念驗證到量產(chǎn)的轉化，并推動(dòng)壓電式MEMS在A(yíng)R/VR、醫療和3D打印等新產(chǎn)品中的應用

■   預計2021年第二季度產(chǎn)出第一批晶圓，2022年底開(kāi)始量產(chǎn)

Lab-in-Fab實(shí)驗室包括意法半導體在宏茂橋工業(yè)園區內的一個(gè)新建潔凈室區，將配備三個(gè)合作方提供的工具設備和專(zhuān)用資源，為MEMS研發(fā)制程科學(xué)家和工程師提供工作場(chǎng)所。IME微電子在壓電式MEMS器件設計、工藝集成和系統集成方面的知識庫和產(chǎn)業(yè)驅動(dòng)力將為研發(fā)生產(chǎn)線(xiàn)的發(fā)展提供積極的增值作用。IME還將提供最先進(jìn)的工具設備，確?？萍紕?chuàng )新成果順利轉化為產(chǎn)品，全部過(guò)程都在同一地點(diǎn)完成。新研發(fā)生產(chǎn)線(xiàn)還將利用意法半導體現有資源，發(fā)揮在同一園區內的ST晶圓廠(chǎng)的規模經(jīng)濟優(yōu)勢。預計“Lab-in-Fab”設施將在2021年第二季度建成啟用并產(chǎn)出首批晶圓，在2022年底實(shí)現量產(chǎn)。

意法半導體模擬器件、MEMS和傳感器(AMS)產(chǎn)品部總裁Benedetto Vigna表示： “我們與IME和ULVAC此前已有過(guò)較長(cháng)的合作經(jīng)驗，這次新合作旨在共同創(chuàng )辦世界領(lǐng)先的壓電式MEMS材料、技術(shù)和產(chǎn)品研發(fā)中心。這個(gè)全球首創(chuàng )實(shí)驗室將設在意法半導體的戰略要地新加坡工廠(chǎng)。Lab-in-Fab將讓我們的客戶(hù)能夠輕松完成從概念可行性研究到產(chǎn)品量產(chǎn)的轉化過(guò)程?！?/p>

此次合作可增強意法半導體新加坡公司現有的制造工藝組合，并加快前景廣闊的新應用領(lǐng)域采用壓電式MEMS執行器，新興應用包括智能眼鏡、AR頭戴設備和激光雷達系統使用的MEMS微鏡；新興醫療設備使用的壓電微機械超聲波換能器（PMUT），以及商用和工業(yè)用3D打印機的壓電式打印頭。

IME執行院長(cháng)Dim-Lee Kwong教授表示： “IME、ST和ULVAC之間的公私合作項目構建了一個(gè)獨特的研發(fā)生產(chǎn)線(xiàn)，這個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)將采用壓電材料開(kāi)發(fā)創(chuàng )新產(chǎn)品，增強合作伙伴的競爭力。這些努力將會(huì )讓高價(jià)值的研發(fā)活動(dòng)繼續扎根于新加坡，并證明新加坡仍是行業(yè)龍頭開(kāi)展技術(shù)創(chuàng )新和發(fā)展業(yè)務(wù)的首選地區。A * STAR將致力于幫助本地中小企業(yè)開(kāi)發(fā)、利用我們的技術(shù)。我們歡迎企業(yè)與IME合作，并利用我們的Lab-in -Fab實(shí)驗室設施做概念驗證?！?/p>

ULVAC執行官、高級研究員Koukou SUU博士表示：“我們很高興成為ST和IME的“Lab-in-Fab”合作伙伴，為眾多前景廣闊的未來(lái)應用開(kāi)發(fā)先進(jìn)的壓電式MEMS產(chǎn)品，這也充分證明了ULVAC在壓電MEMS制造技術(shù)解決方案市場(chǎng)上的領(lǐng)先地位。我們期待與合作伙伴密切合作，使合作圓滿(mǎn)成功?！?nbsp;