上海精測中標長(cháng)江存儲集成式膜厚量測儀

據悉，精測電子控股子公司上海精測半導體技術(shù)有限公司中標長(cháng)江存儲的3臺集成式膜厚光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測儀。

上海精測以橢圓偏振技術(shù)為核心，在 1 年多時(shí)間內開(kāi)發(fā)了適用于半導體工業(yè)級應用的膜厚測量以及光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量系統，包括集成式膜厚測量機 EFILM 300IM、集成單 / 雙模塊膜厚測量機 EFILM 300DS、高性能膜厚及 OCD 測量機 EPROFILE 300FD 等產(chǎn)品型號。近日實(shí)現 3 臺來(lái)自長(cháng)江存儲的集成式膜厚光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測儀訂單，表明上海精測已具備晶圓制造環(huán)節的膜厚量測設備重復、批量供應能力。

據了解，精測電子控股子公司上海精測半導體技術(shù)有限公司已完成股權變更，新增六位股東，分別為上海半導體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金合伙企業(yè)、上海青浦投資有限公司、上海精圓管理咨詢(xún)合伙企業(yè)、國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司(國家大基金一期)、馬駿和劉瑞林。其中，國家大基金一期此次注資 1 億人民幣，對上海精測半導體持股 15.38%，為并列第二大股東。