面板和觸摸屏行業(yè)新的在線(xiàn)靜電測量方法

靜電一直以來(lái)就是半導體和面板行業(yè)關(guān)注的問(wèn)題，由于其產(chǎn)生的靜電釋放和吸附會(huì )造成的元件損傷進(jìn)而影響生產(chǎn)產(chǎn)品良率。

以面板行業(yè)為例，玻璃面板在制造工藝過(guò)程中不斷被摩擦、移動(dòng)、吸附、加壓、分離、加熱、冷卻等而持續產(chǎn)生靜電，在特定的情況下就會(huì )發(fā)生靜電放電現象。由于面板大尺寸、高集成度、靜電分布不均勻、測試空間狹小、測試距離遠，所以傳統手持式靜電場(chǎng)測試儀難以量測到準確的靜電電壓數值，不能滿(mǎn)足當前面板工藝的檢測要求。

因此，美商衛利引進(jìn)了日本Hanwa公司全新的在線(xiàn)靜電檢測設備(如圖1所示)，它采用多點(diǎn)檢測探頭，利用數值、視覺(jué)、圖表三種模式切換實(shí)時(shí)顯示靜電數據，是最新在線(xiàn)、功能測試解決方案。

圖1 在線(xiàn)靜電測試設備

使用這種設備我們在面板行業(yè)不同工藝段進(jìn)行了相關(guān)測試，利用配套的軟件得到了原始數據和視覺(jué)圖像(如圖2、3所示)。

圖2 原始Excel數據(顯示不同測試點(diǎn)所對應靜電量)

圖3 視覺(jué)圖像(不同測試點(diǎn)借由顏色深淺顯示靜電量大小)

在整個(gè)面板轉運過(guò)程中，通過(guò)后期數據和圖像分析，能夠發(fā)現不同環(huán)節面板表面靜電量變化情況，針對特定變化規律及數據對比使我們有了更多手段去發(fā)現并改善生產(chǎn)潛在的危險(如圖4所示)。

圖4后期數據分析(顯示面板在轉運過(guò)程中整片玻璃靜電量變化)

我們可以利用這套新的系統所產(chǎn)生的信息來(lái)分析制程中機臺接地是否良好，滾輪及頂針?lè )漓o電效果是否達到預期，離子棒安裝位置以及角度、高度是否合適等來(lái)確定采取的各種防靜電手段是否有效。