應用材料公司EBR檢視系統加速新型顯示器工廠(chǎng)產(chǎn)能爬坡

　　近日，應用材料公司在“北京2016國際顯示高峰論壇”上展示了他們面向顯示行業(yè)的高分辨率在線(xiàn)電子束檢視(EBR)系統，該系統能顯著(zhù)提高OLED、UHD液晶屏制造商良率提升的速度，更快地將新型顯示產(chǎn)品推向市場(chǎng)。

　　圖1 應用材料公司平板顯示設備高分辨率在線(xiàn)電子束檢視(EBR)系統

　　隨著(zhù)顯示產(chǎn)業(yè)的增長(cháng)和技術(shù)的變革，消費者對顯示產(chǎn)品的視覺(jué)需求越來(lái)越高，這反應在電視及手機等消費電子產(chǎn)品上的高解析度和尺寸的增長(cháng)。以電視為例，解析度從HD發(fā)展到如今的4K，預計將來(lái)會(huì )出現8K，甚至更高的解析度;尺寸上，也從之前的40英寸一直發(fā)展到現在的55英寸，未來(lái)預計還會(huì )有70英寸甚至更大的電視出現，電視平均尺寸每年以1.5英寸的速度增長(cháng)，這意味著(zhù)每年需要增加三座工廠(chǎng)。55英寸以上電視需求的上升，也將推動(dòng)10代線(xiàn)及更高世代產(chǎn)線(xiàn)的投資和發(fā)展;手機，其解析度和尺寸的變化趨勢也同電視一樣不斷增加，而相應的技術(shù)也逐漸從LCD轉為OLED或柔性OLED，甚至形狀上也從直板到柔性、卷性，甚至折疊式。應用材料公司副總裁，大中華區面板業(yè)務(wù)總經(jīng)理郭怡之稱(chēng)“從視覺(jué)上的要求將會(huì )帶來(lái)技術(shù)上的差異化，第一個(gè)是背板技術(shù)，將會(huì )從非晶硅轉換為低溫多晶硅或是金屬氧化物，這兩種技術(shù)的電子遷移移速率都比較快，因而晶體管可以做的比較小，可以滿(mǎn)足高分辨率和尺寸上的需求;另外一個(gè)是在顯示屏上看到越來(lái)越多的OLED的需求，包含硬板的OLED和柔性的OLED，這一顯示屏的趨勢將為應用材料公司提供了一個(gè)很好的發(fā)展契機。”

　　圖2 顯示技術(shù)的發(fā)展

　　隨著(zhù)半導體制程進(jìn)入次微米，上世紀90年代，掃描電子顯微鏡檢視解決方案(SEM)取代了光學(xué)檢視，如今半導體工藝制程的在線(xiàn)SEM檢視率為90%。目前顯示行業(yè)， 我們仍依賴(lài)傳統離線(xiàn)SEM，而離線(xiàn)SEM檢視技術(shù)現在仍面臨以下不足：

　　1)需要鍍金屬/C60鍍膜;2)檢視過(guò)程需損壞產(chǎn)品;3)檢視周期長(cháng);4)樣本率低;5)信息流失，客戶(hù)無(wú)法得到完整信息。

　　應用材料公司用于OLED和高分辨率LCD的電子束檢視系統結合半導體技術(shù)平臺和SEM顯示技術(shù)，克服了離線(xiàn)SEM檢視技術(shù)的不足，可以低電壓、無(wú)損傷、快速地完成檢視的整個(gè)流程。“由于離線(xiàn)SEM技術(shù)需要對樣品切割、鍍膜等步驟，這不僅損壞了器件，還會(huì )大大降低工作效率，對于一個(gè)熟練的技術(shù)員，一天最多只能檢測20個(gè)樣本，而EBR不需要切割玻璃和鍍膜，一個(gè)技術(shù)員一天可以完成上千點(diǎn)樣本檢測，檢測到的缺陷可以繼續后續制程的處理，觀(guān)察該缺陷是否是致命缺陷。同時(shí)，EBR系統可以檢測到AOI(Automatic Optic Inspection，自動(dòng)光學(xué)檢測)設備無(wú)法檢測到的缺陷，能夠更精準地檢測缺陷。”應用材料公司顯示產(chǎn)品事業(yè)部良率技術(shù)部總經(jīng)理Peter D. Nunan介紹稱(chēng)，“對于我們來(lái)說(shuō)，速度是最重要的，現在一個(gè)小時(shí)可以檢測一百個(gè)缺陷，未來(lái)十年內我們將不停地加快速度，對于我們的客戶(hù)來(lái)說(shuō)，EBR系統將會(huì )成為他們應對新技術(shù)挑戰，提高產(chǎn)能和產(chǎn)品良率的利器，減少解決難題所需的時(shí)間。”

　　圖3 EBR系統加速檢測速度和良率爬坡