Fourier變換輪廓術(shù)中參數的選擇和優(yōu)化研究
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引入物面傾面
將式(3)代入后有：本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/195897.htm 
由式(4)可知，當減小夾角θ時(shí)，tgθ亦減小，fn得到壓縮，而等效波長(cháng)λc卻增大，所以頻譜的壓縮是以系統測量精度的降低為代價(jià)的。
壓縮夾角θ，使基頻同零頻和高頻完全分離，須滿(mǎn)足條件：
式中，fb為零頻最大值。解得各次譜完全分離時(shí)夾角θ所必須滿(mǎn)足的條件為：
必須對(f0-fb)／f0與1／3進(jìn)行比較，以決定θ的選擇。不考慮零頻的影響，假設各次頻譜完全分離時(shí)的夾角為θc，則θc由下式確定：
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