應用材料公司推出業(yè)界最高產(chǎn)量CVD工藝主機

應用材料公司推出業(yè)界最高產(chǎn)量CVD工藝主機－ Applied Producer GT


近日，應用材料公司宣布推出業(yè)界最快速最經(jīng)濟的CVD（化學(xué)氣相沉積）主機 － Applied Producer® GT™，把硅片生產(chǎn)能力提升到了一個(gè)新的水平。該產(chǎn)品每小時(shí)可處理150片硅片，產(chǎn)量達到其他競爭系統的兩倍，從而降低了30%的擁有成本，并將單位面積每小時(shí)硅片處理數量提高了50%。Producer GT全面支持所有應用材料的PECVD（等離子強化化學(xué)氣相沉積）技術(shù)應用，并囊括了超過(guò)30項世界級已被生產(chǎn)驗證的工藝。

應用材料薄膜事業(yè)部資深副總裁兼總經(jīng)理Farhad Moghadam博士表示：“ Producer GT具有高速的處理能力、低廉的擁有成本和已被驗證的工藝結果, 這正是我們客戶(hù)夢(mèng)寐以求的產(chǎn)品。 隨著(zhù)尖端器件所使用的薄膜變得越來(lái)越薄，沉積工藝設備必須具備更快的速度和更高的效率，從而將制造廠(chǎng)的利用率最大化。Producer GT開(kāi)發(fā)于我們極其成功的Producer系統之上。45納米及更小節點(diǎn)上全系列PECVD（等離子加強化學(xué)氣相沉積）的應用都可以直接在這個(gè)更快的主機上實(shí)現?？蛻?hù)對于GT的良好反應讓我們非常振奮，產(chǎn)品的市場(chǎng)需求也很旺盛?！?

Applied Producer GT主機出色表現的關(guān)鍵來(lái)自于FX機械手，它可以同時(shí)傳遞4片硅片，從而使配置3個(gè)Twin Chamber® 的Producer GT的生產(chǎn)能力最大化。該主機的雙層進(jìn)片腔縮短了硅片傳送時(shí)間，提高了反應腔利用率。 旨在降低缺陷的硅片傳送部件設計在保持高產(chǎn)能的同時(shí)，使來(lái)自于機械運動(dòng)所產(chǎn)生的顆粒污染降低了30%。 高容量的廠(chǎng)區界面最高可支持4個(gè)FOUP（前端開(kāi)口統一規格硅片盒），具有高效率的運作和整合于其中的測量能力。Producer GT還經(jīng)過(guò)重新設計，大大提升了產(chǎn)品適用性，最高可降低25%的預防性維護時(shí)間。 

應用材料公司的Metron事業(yè)部還提供定制節能真空泵和尾氣處理系統套裝，最高可進(jìn)一步減少40%的運行成本。Marathon™ 8600是唯一單機就能支持Producer GT的三反應腔設計的尾氣處理系統。