利用濕式蝕刻工藝提高LED光萃取效率之產(chǎn)能與良率的方法
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VI.化學(xué)品供應系統：化學(xué)液之補充體積的精確度要高。
VII.外延片自動(dòng)傳送系統：外延片傳送可保證連續順利傳送達400 Runs,以確保制造上之良率。
圖12、弘塑科技設計制作之高溫磷酸濕式蝕刻自動(dòng)化量產(chǎn)設備。
結論
本文已針對藍寶石基板之高溫磷酸濕式蝕刻工藝，以及其工藝設備在設計制作上必須考慮哪些因素，進(jìn)行詳細探討。由于LED之藍寶石基板化學(xué)濕式蝕刻工藝，可藉由基板表面幾何圖形之變化，來(lái)改變LED的散射機制，或將散射光導引至LED內部，進(jìn)而由逃逸角錐中穿出，所以成為增加LED光萃取效率的有效技術(shù)。目前LED業(yè)界特別考慮到如何降低成本與增進(jìn)產(chǎn)能，并且又要合乎環(huán)保與工業(yè)安全等需求，可以預見(jiàn)地具備操作自動(dòng)化與工藝標準化之系統設備，將成為未來(lái)LED生產(chǎn)線(xiàn)量產(chǎn)之競爭主力。
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