MEMS傳感器走向低功耗、集成化

 　　·MEMS的技術(shù)發(fā)展趨勢主要表現在以下幾個(gè)方面：第一，微型化的同時(shí)降低功耗。第二，微型化的同時(shí)提高精度。第三，集成化及智慧化趨勢。

　　目前，MEMS傳感器主要應用在汽車(chē)、醫療和消費電子三大領(lǐng)域。

　　應用三大領(lǐng)域汽車(chē)、醫療、消費電子

　　汽車(chē)工業(yè)是傳感器的一個(gè)重要應用領(lǐng)域。每臺汽車(chē)會(huì )有40到上百個(gè)傳感器，而汽車(chē)智慧化的發(fā)展趨勢也將促進(jìn)汽車(chē)市場(chǎng)對傳感器的需求。其應用方向和市場(chǎng)需求包括車(chē)輛的防抱死系統(ABS)、電子車(chē)身穩定程序(ESP)、電控懸掛(ECS)、電動(dòng)手剎(EPB)、斜坡起動(dòng)輔助(HAS)、胎壓監控(EPMS)、引擎防抖、車(chē)輛傾角計量和車(chē)內心跳檢測等等。其中電子車(chē)身穩定程序ESP得到眾MEMS廠(chǎng)商的高度關(guān)注。由于其主動(dòng)防滑功能要求更多的傳感器和先進(jìn)的處理系統，因此將帶動(dòng)汽車(chē)電子MEMS傳統應用市場(chǎng)的需求。

　　隨著(zhù)人口老齡化和中國醫療保健系統的健全，各種遠距離監護和高精度治療設備將越來(lái)越多地被引入。醫療保健市場(chǎng)逐漸成為MEMS傳感器應用的又一大市場(chǎng)。MEMS具有微型的特點(diǎn)，可以代替器官植入、微量檢測，主要的發(fā)展方向是血管內手術(shù)和顱內手術(shù)以及細胞手術(shù)。

　　MEMS傳感器在消費電子領(lǐng)域中主要應用于運動(dòng)/墜落檢測、導航數據補償、游戲/人機界面、電源管理、GPS增強/盲區消除、速度/距離計數、其他體育和保健應用等等。這些MEMS技術(shù)都在很大程度上提高了用戶(hù)體驗，并帶來(lái)了全新的電子消費產(chǎn)品。其中加速度計是該市場(chǎng)中第一大應用產(chǎn)品。而近期陀螺儀增長(cháng)迅速，已經(jīng)成為繼加速度計后的第二大應用產(chǎn)品。

　　MEMS麥克風(fēng)最近幾年一直保持著(zhù)很高的增長(cháng)率。以智能手機、平板電腦和超級本為代表，消費電子市場(chǎng)的飛速發(fā)展極大地推動(dòng)著(zhù)MEMS麥克風(fēng)產(chǎn)品的需求和發(fā)展。Yole Developpement的分析數據顯示：2010年～2016年，MEMS麥克風(fēng)市場(chǎng)總體出貨量將保持23%的水平;據預測，MEMS麥克風(fēng)出貨量2013年將達到10億顆，2016年將接近20億顆。從具體應用市場(chǎng)來(lái)看，在MEMS麥克風(fēng)應用最為廣泛的手機終端市場(chǎng)中，2016年MEMS麥克風(fēng)的出貨量將接近市場(chǎng)總量的一半。

　　除去以上三個(gè)領(lǐng)域，在工業(yè)領(lǐng)域中，MEMS也有很多的應用。小體積、低成本的MEMS傳感器越來(lái)越多地用在各種機械振動(dòng)監測上，它可以用來(lái)監測馬達、軸承等的振動(dòng)，從而實(shí)現預見(jiàn)性維護;利用MEMS加速度計實(shí)現的傾角儀也被廣泛用在各種工業(yè)測量設備上;還有遙控直升機的伺服系統、兩輪車(chē)的平衡系統、天線(xiàn)穩定平臺等。

　　技術(shù)三個(gè)方向低功耗、高精度、智能化

　　從未來(lái)的發(fā)展趨勢上看，MEMS技術(shù)主要表現在以下幾個(gè)方面：第一，微型化的同時(shí)降低功耗，將會(huì )出現微米甚至納米級別的微型器件，同時(shí)降低功耗;第二，微型化的同時(shí)提高精度，將MEMS加速度計做到石英加速度計的噪聲特性，保證MEMS陀螺儀小體積的同時(shí)獲得光纖陀螺儀的零偏穩定性;第三，集成化及智慧化趨勢，即MEMS與IC的集成制造技術(shù)及多參量MEMS傳感器的集成制造技術(shù)得到發(fā)展，以及在集成化基礎上使得信號檢測具有一定的智能。這些趨勢要求半導體廠(chǎng)商提供更高精度、穩定性更好、更智能的高集成度MEMS傳感器模塊?；诖?，ADI繼續將重點(diǎn)放在開(kāi)發(fā)MEMS傳感器的核心技術(shù)上，以提供最好的工業(yè)級加速度計和陀螺儀。同時(shí)，ADI還將繼續提供更多高集成度的MEMS傳感器，以適應不同市場(chǎng)的需求。