海洋光學(xué)NanoCalc實(shí)現精確薄膜分析

　　海洋光學(xué)的NanoCalc系統利用了光譜反射測量技術(shù)，為半導體、醫療和工業(yè)環(huán)境領(lǐng)域的客戶(hù)提供光學(xué)薄膜厚度的精確測量。新款預配置NanoCalc系統面向客戶(hù)及新型應用，適合深紫外到近紅外波段的檢測。

　　NanoCalc系統適用于多種波長(cháng)、多種采樣方式以及光學(xué)厚度(1.0nm-250um)要求。用戶(hù)可以在4種標準型號中(涵蓋~200-1700nm)做出選擇，并且將它們與軟件、反射探頭、光纖和各種附件整合到一起。對于可見(jiàn)光譜(400-850nm)或者紫外可見(jiàn)光譜(250-1050nm)的應用，用戶(hù)可以通過(guò)選擇預配置的系統，使操作更加便利。這個(gè)預配置的系統包括NanoCalc，反射探頭、樣品臺、標準臺階膜厚Si-SiO2晶片以及可以分析10層薄膜的軟件。

　　為了滿(mǎn)足要求更高的應用環(huán)境，NanoCalc系統可以與大量的擴展軟件、光纖以及諸如掃描平臺、顯微鏡和微光斑聚焦裝置等測量附件一同使用。

　　在減反射硬質(zhì)涂層、太陽(yáng)能電池板上的非晶硅、OLED顯示面板、光刻膠等膜厚測量領(lǐng)域，NanoCalc系統將發(fā)揮尤為重要的作用。

　　客戶(hù)定制的NanoCalc系統還可以在現場(chǎng)、多點(diǎn)或者真空測量中實(shí)現附加的用戶(hù)控制。用戶(hù)可以自由選擇合適的光纖組件或者反射探頭。此外，用戶(hù)還可以通過(guò)其他軟件或者是利用軟件附加功能(包括遠程控制、在線(xiàn)控制、掃描以及多層測量)控制NanoCalc的功能。