KLA-Tencor宣布安裝處理450mm硅片的Surfscan?SP3系統

　　KLA-Tencor 公司(納斯達克股票代碼：KLAC)日前宣布其第一臺能夠檢測 450mm 硅片的半導 體制程控制系統已裝機 。該系統被命名為 Surfscan SP3 450, 是市場(chǎng)領(lǐng)先的 Surfscan^® SP3 平臺的最新配置。這種全自動(dòng)化的無(wú)圖案硅片檢測系統是為滿(mǎn)足 20nm 及以下制程缺陷與表面品質(zhì)特性的嚴格要求而專(zhuān)門(mén)設計。該系統除了可以用于對 450mm 拋光基板和外延硅基板生產(chǎn)工藝的控制外, 還可以為 450mm 工藝設備的生產(chǎn)商如濕清洗設備、化學(xué)機械拋光 (CMP) 墊、研磨液和拋光機、薄膜沉積設備和退火設備提供所需的檢測能力。

　　位于比利時(shí)魯汶 (Leuven) 的世界領(lǐng)先納米電子研究中心 imec 的工廠(chǎng)經(jīng)理 Hans Lebon 表示：“在確認硅片尺寸改變所帶來(lái)的經(jīng)濟效益前要做的第一步是硅片質(zhì)量和清洗效能的優(yōu)化, 這一 步非常重要。硅片生產(chǎn)商需要提供表面質(zhì)量極其優(yōu)良的基板, 以滿(mǎn)足芯片生產(chǎn)商的嚴格要求。設備生產(chǎn)商需要確保他們沒(méi)有在更大硅片上增加缺陷;保證有效清洗工藝; 以及精確控制薄膜質(zhì)量。新的 Surfscan SP3 450 檢測系統可以幫助 imec表征硅片的表面缺陷與質(zhì)量, 測量薄膜厚度和表面粗糙度均勻性, 甚至甄別退火問(wèn)題。我們認為，SP3 450 是業(yè)界向 450mm 過(guò)渡的一個(gè)關(guān)鍵工具。”

　　KLA-Tencor 的 Surfscan / ADE 事業(yè)部高級副總裁兼總經(jīng)理 Ali Salehpour 表示：“無(wú)論硅片 直徑是 300mm 還是 450mm，客戶(hù)都需要 Surfscan SP3 以提供 20nm 及以下制程所需要的 性能。SP3 是業(yè)界唯一采用深紫外線(xiàn) (DUV) 光照的高靈敏度無(wú)圖案晶圓檢測系統，并且是同 類(lèi)工具中唯一能夠生成高分辨率圖像的表面質(zhì)量檢測產(chǎn)品。Surfscan SP3 450 的另一項優(yōu)勢是其光學(xué)系統可靠性和算法已在 50 多臺安裝于全球先進(jìn)開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)部門(mén)的 300mm SP3 平臺上得以證明. 透過(guò)對其檢測平臺的信心，我們的客戶(hù)能夠把工程重心集中在先進(jìn)的技術(shù)開(kāi)發(fā)。”

　　Surfscan SP3 450 系統現已收到多筆來(lái)自業(yè)界領(lǐng)先的芯片廠(chǎng)商、基板與工藝設備生產(chǎn)商以及 一個(gè)納米電子研究中心的訂單。這些系統有一部分已經(jīng)發(fā)貨。Surfscan SP3 還提供單一300mm 操作版本和 300mm/450mm 共用結構。SP3 原型被設計為可在相同機型之間提供一致性結果，也可與上世代的 Surfscan SP2 及 SP2XP 系統透過(guò)運算提供其結果之關(guān)聯(lián)性，保持工廠(chǎng)的基準，又能為不斷改進(jìn)的制程提供靈活性。