EDWARDS發(fā)布全新真空鎖室泵系列

　　全球領(lǐng)先的尖端真空設備和尾氣處理系統制造商及相應增值服務(wù)供應商Edwards公司宣布推出全新iXL250Q和iXL750Q干泵。新推出的干泵設備，加上已有的iXL500Q干泵，涵蓋了平板顯示器(flat panel display，FPD)和太陽(yáng)能制造市場(chǎng)領(lǐng)域中的全系列抽空要求，包括從較小的第四代FPD制造中的真空鎖室泵直到第八代或第十代FPD制造中的最大型真空鎖室泵。在2012年7月10-12日于美國加利福尼亞州舊金山舉辦的InterSolar博覽會(huì )，Edwards公司將在北廳(North Hall)的 5351號展臺展出該設備，敬請參觀(guān)以了解有關(guān)iXL系列的更多信息。

　　這些性能領(lǐng)先的真空泵設計用于使基底產(chǎn)出率最大化，同時(shí)使功率、占位面積和重量降到最低。另外，在檢修間隔期間無(wú)需維護。所有的真空泵均具備“綠色”工作模式，能夠在待機期間以更低的功率運行，從而有很大的潛力來(lái)降低運營(yíng)成本。

　　Edwards公司FPD干泵高級產(chǎn)品經(jīng)理Allister Watson博士稱(chēng)：“把總體擁有成本降至最低是Edwards與客戶(hù)共同的優(yōu)先考慮事項。我們注重引導客戶(hù)根據其要求來(lái)選擇最高效的設備。新型iXL干泵進(jìn)一步擴展了我們的產(chǎn)品組合，因而我們能夠為客戶(hù)提供效率盡可能高的方法，以最低的成本實(shí)現最優(yōu)化的性能。”　　

　　特定體積工藝室的抽空時(shí)間主要取決于泵在接近大氣壓力時(shí)的可用抽速。正如產(chǎn)品名稱(chēng)所提示，iXL250Q、iXL500Q和iXL750Q在大氣壓力附近提供大約250 m3/h、500 m3/h和750 m3/h的抽速。iXL250Q目標是較小的工藝室，它們用于較早一代FPD(例如第四代)制造，而iXL500Q和iXL750Q則更適合較大的工藝室，可在第八代和第十代FPD制造中使用。

　　Edwards公司新型iXL泵系列現在可以供貨。