消費者需求推動(dòng)MEMS技術(shù)接近現實(shí)

　　MEMS(微機電系統)技術(shù)深受運動(dòng)、加速度、傾斜以及振動(dòng)等傳感器應用的歡迎。根據市場(chǎng)調研公司IHS iSuppli的報告，2011年意法半導體消費電子MEMS產(chǎn)品銷(xiāo)售額增幅超過(guò)80%，總計約6.50億美元，是最大競爭對手的兩倍多。近日，筆者有機會(huì )專(zhuān)訪(fǎng)意法半導體副總裁 模擬、MEMS和傳感器事業(yè)部總經(jīng)理Benedetto Vigna，請他為大家介紹意法半導體MEMS技術(shù)的競爭優(yōu)勢和未來(lái)發(fā)展趨勢。

　　消費電子用MEMS產(chǎn)品，是意法半導體一直專(zhuān)注的領(lǐng)域，雖然也涉足其他應用市場(chǎng)，但Benedetto Vigna表示：“消費電子領(lǐng)域還有很多機會(huì )，MEMS傳感器品種越來(lái)越多，更多的應用等待著(zhù)MEMS去改變用戶(hù)體驗以及創(chuàng )新出更多的需求，對意法半導體而言，這個(gè)市場(chǎng)有足夠廣闊的空間等著(zhù)我們去搶占，我們不需要考慮太多其他。”

　　“機械、模擬和封裝，MEMS最重要的三大部分，公司發(fā)展MEMS一開(kāi)始就著(zhù)手在這三大塊投入精力，開(kāi)發(fā)相應的IP，做到工藝上的提升，產(chǎn)品上的優(yōu)化，我們是真正控制整個(gè)產(chǎn)品從開(kāi)發(fā)到后端的開(kāi)發(fā)鏈在自己手上。”在Benedetto Vigna的訪(fǎng)談中，他強調制造優(yōu)勢在MEMS競爭中同樣不可或缺， “除了很好的設計，我們不單單在半導體里面做原型機，我們有很好的制造工藝支撐整個(gè)產(chǎn)品投放市場(chǎng)。”

　　工藝和制造的優(yōu)勢讓意法半導體在產(chǎn)業(yè)鏈競爭中始終處于領(lǐng)先位置， “MEMS產(chǎn)品機械部分有一定厚度的，機械部分我們不是用傳統工藝做的，而是選擇開(kāi)發(fā)出了微致動(dòng)器和加速計芯片厚外延層(ThELMA)工藝，這個(gè)0.8微米表面微加工技術(shù)可整合薄厚不一的多晶硅層，用于實(shí)現MEMS器件的結構和互連線(xiàn)，這樣可以很好做3D的封裝，把產(chǎn)品做得更小更薄這樣的技術(shù)。”除了ThELMA外，Benedetto Vigna還提到了硅通孔(TSV)技術(shù)，“我們還采用TSV技術(shù)達到100微米，真正可以在正面和反面進(jìn)行連接;而VENSENS工藝(VENice process for SENSors)結合 ThELMA工藝，可以在一個(gè)單晶硅芯片內整合一個(gè)空腔，制造一個(gè)尺寸和性能優(yōu)異的壓力傳感器，使芯片變得更薄、更小，熱穩定性和可靠性更高。”　　

　　意法半導體掀起了MEMS消費電子化的浪潮，第一波大規模應用是PC相關(guān)和游戲機，MEMS所做主要是提升人機界面互動(dòng)性。第二波開(kāi)始影響的是智能手機和平板電腦，這也是現在市場(chǎng)的主要增長(cháng)點(diǎn)，三個(gè)非常重要的應用：第一是相機防抖應用;第二是基于位置服務(wù)的應用;第三是遙控數據監測。為此意法半導體已經(jīng)開(kāi)始在一個(gè)封裝內整合多個(gè)傳感器：加速計、陀螺儀、地磁計、壓力傳感器，這個(gè)多路傳感器一體化解決方案可大幅提升各種應用設備的性能。iNEMO是這種發(fā)展趨勢的一個(gè)典型實(shí)例。在這些多傳感器產(chǎn)品內，集成傳感器可實(shí)現自主和自動(dòng)系統，監測特定的條件，并根據監測結果執行相應的操作，用戶(hù)無(wú)需干預或只需稍加介入。此外，‘智能傳感器’整合MEMS器件和處理功能，無(wú)需主處理器介入，獨立運行傳感器算法，從而能夠降低系統級功耗，這對耗電量極大的手持設備非常重要。

　　暢想MEMS在消費電子中應用的未來(lái)，MEMS麥克風(fēng)是意法半導體今年的重點(diǎn)，不過(guò)Benedetto Vigna認為MEMS傳感器是時(shí)候該做點(diǎn)更讓人驚奇的事情了，那就是增強實(shí)景，傳感器能完全感受到人體的任何細微變化。誰(shuí)不想體驗身臨其境真實(shí)感受，面對能讓你感受到親臨現場(chǎng)的游戲，誰(shuí)都拒絕不了這種誘惑。 讓MEMS實(shí)現接近現實(shí)的夢(mèng)想，Benedetto Vigna給了MEMS傳感器賦予了一個(gè)極為誘人又正在不斷實(shí)現的全新使命，而那種真實(shí)的身臨其境的體驗，不正是許多人夢(mèng)寐以求的享受么?