AIXTRON推出世界上容量最大的MOCVD反應器

　　AIXTRON SE最新推出世界上最大容量的MOCVD反應器——CRIUS II-L MOCVD反應器，將MOCVD反應器的容量、生產(chǎn)能力和LED生產(chǎn)成本都提升到新的高度，具有生產(chǎn)16x4英寸或69x2英寸晶圓的能力。

　　AIXTRON公司表示，新的MOCVD反應器是基于經(jīng)過(guò)市場(chǎng)驗證的CRIUS II平臺而開(kāi)發(fā)的，可以保證高性能氮化鎵(GaN)LED生產(chǎn)過(guò)程的無(wú)縫遷移。

　　營(yíng)銷(xiāo)副總裁Rainer Beccard表示，降低制造成本是LED產(chǎn)業(yè)的一個(gè)關(guān)鍵問(wèn)題，尤其在固態(tài)照明產(chǎn)品中。與MOCVD相關(guān)的制造成本中，反應器的產(chǎn)能仍然是影響制造成本的關(guān)鍵因素。

　　據悉，CRIUS II-L經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗證，確認是目前世界上最大的MOCVD反應器。另外，CRIUS II-L反應器還針對2-8英寸晶圓的生產(chǎn)進(jìn)行了優(yōu)化設計，將大大提高生產(chǎn)力。