Lasertec護膜和掩膜雜質(zhì)粒子檢查設備

Lasertec日前宣布成功地推出了新型護膜和掩膜異物檢查設備——PEGSIS P100。這個(gè)設備能與90nm甚至更小尺寸半導體器件設計規則的掩膜兼容，具有很高的檢查速率和靈敏度。Lasertec將這個(gè)產(chǎn)品視為2006年之前的旗艦產(chǎn)品，計劃在2006年受理10部訂單。
該設備不僅將檢測靈敏度提高到了4μm，還能通過(guò)明視場(chǎng)檢查進(jìn)行缺陷檢測。只要缺陷的種類(lèi)清楚了，就能選擇合理的洗凈方法。今后幾個(gè)月內還將配備可清除異物的選配功能，據介紹能夠當場(chǎng)清除異物。包括掩膜搬運等時(shí)間在內護膜表面和掩膜背面的檢測時(shí)間不足10分鐘。