EEPW首頁(yè) >>
主題列表 >>
lasertec
lasertec 文章 進(jìn)入lasertec技術(shù)社區
Lasertec護膜和掩膜雜質(zhì)粒子檢查設備
- Lasertec日前宣布成功地推出了新型護膜和掩膜異物檢查設備——PEGSIS P100。這個(gè)設備能與90nm甚至更小尺寸半導體器件設計規則的掩膜兼容，具有很高的檢查速率和靈敏度。Lasertec將這個(gè)產(chǎn)品視為2006年之前的旗艦產(chǎn)品，計劃在2006年受理10部訂單。 該設備不僅將檢測靈敏度提高到了4μm，還能通過(guò)明視場(chǎng)檢查進(jìn)行缺陷檢測。只要缺陷的種類(lèi)清楚了，就能選擇合理的洗凈方法。今后幾個(gè)月內還將配備可清除異物的選配功能，據介紹能夠當場(chǎng)清除異物。包括掩膜搬運等時(shí)間在內護膜表面和掩膜背面的檢測時(shí)
- 關(guān)鍵字： Lasertec 護膜和掩膜 檢查設備 雜質(zhì)粒子
| 共2條 1/1 1 |
lasertec介紹
您好，目前還沒(méi)有人創(chuàng )建詞條lasertec!
歡迎您創(chuàng )建該詞條，闡述對lasertec的理解，并與今后在此搜索lasertec的朋友們分享。 創(chuàng )建詞條
歡迎您創(chuàng )建該詞條，闡述對lasertec的理解，并與今后在此搜索lasertec的朋友們分享。 創(chuàng )建詞條
關(guān)于我們 -
廣告服務(wù) -
企業(yè)會(huì )員服務(wù) -
網(wǎng)站地圖 -
聯(lián)系我們 -
征稿 -
友情鏈接 -
手機EEPW
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權所有 北京東曉國際技術(shù)信息咨詢(xún)有限公司
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權所有 北京東曉國際技術(shù)信息咨詢(xún)有限公司
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473