「7納米以下」芯片光刻技術(shù)獲專(zhuān)利！外媒：中國大陸正迎頭趕上

中國大陸在先進(jìn)芯片制造領(lǐng)域正逐漸縮小與西方的差距。外媒報導，上海微電子裝備（集團）股份有限公司日前公布了一系列制造7納米以下芯片關(guān)鍵能力的專(zhuān)利，該消息也得到了德國等海外專(zhuān)業(yè)媒體的注意，稱(chēng)大陸在芯片領(lǐng)域正在迎頭趕上。

德國之聲引述包括「芯智訊」在內的網(wǎng)絡(luò )媒體報導稱(chēng)，大陸國家知識產(chǎn)權局于10日披露了一項名為「極紫外輻射發(fā)生裝置及光刻設備」的發(fā)明專(zhuān)利，內容涉及極紫外輻射（EUV）發(fā)生裝置及光刻設備，申請者為上海微電子裝備（集團）股份有限公司。

報導指，EUV光刻技術(shù)是一種先進(jìn)的芯片制造技術(shù)，可以在半導體晶圓上繪制極其精細的電路，從而生產(chǎn)出更小、更強大的芯片。這項技術(shù)使用極紫外光（EUV）作為光源，比傳統光刻技術(shù)能實(shí)現更高的精度。擁有EUV光刻技術(shù)專(zhuān)利意味著(zhù)掌握了制造7納米以下芯片的關(guān)鍵能力。

據相關(guān)報導，上海微電子此次披露的專(zhuān)利主要涉及EUV 光源和光刻設備，其中重點(diǎn)的極紫外輻射發(fā)生器（光源）主要包括腔體、靶材發(fā)生器、雷射發(fā)生器、收集鏡、電極板、氣控零件等關(guān)鍵零件。

該消息也引起了德國科技時(shí)政類(lèi)媒體Telepolis的關(guān)注。該媒體近日報導稱(chēng)，中國大陸在芯片領(lǐng)域正在迎頭趕上。

報導認為，中國的技術(shù)進(jìn)步幾乎勢不可擋。中國光刻設備市場(chǎng)99％的份額由荷蘭艾司摩爾（AMSL）及日本的尼康和佳能控制。只有艾司摩爾生產(chǎn)7納米以下芯片的設備。然而，艾司摩爾在為中國大陸客戶(hù)提供服務(wù)方面面臨壓力，中國是其僅次于臺灣的第二大市場(chǎng)。

根據2023年年報，艾司摩爾僅能滿(mǎn)足中國大陸訂單的50％。據香港《南華早報》報導，自9月6日起，艾司摩爾在中國大陸提供零件、軟件更新和系統維護需要獲得荷蘭許可證。此前，需在美國獲得出口許可。

而據陸媒報導，中國大陸的通訊設備公司華為最新推出的Mate XT三折迭屏幕手機采用的麒麟9000處理器基于5納米工藝制成。這也表明盡管備受?chē)H制裁，陸企仍有能力生產(chǎn)出7納米以下的先進(jìn)芯片。

但與此同時(shí)，也有分析人士認為，華為和其合作伙伴找到了規避芯片設備出口管制的管道，目前還沒(méi)有壓倒性證據表明華為擁有這些關(guān)鍵技術(shù)的完全本土供應鏈。