真空環(huán)境的獲得方式

真空環(huán)境是很多精密設備運轉的前提條件，由于目前自然真空的利用十分困難，因此一般通過(guò)真空泵獲取真空環(huán)境。用來(lái)獲得、改善、維持真空的裝置稱(chēng)為真空泵。一般來(lái)說(shuō)，為了獲得高真空、超高真空及ji高真空，有時(shí)還要采用多臺真空泵構成機組來(lái)完成抽氣任務(wù)。因此，了解各種真空泵的工作原理、主要性能、結構特點(diǎn)等，對于正確選擇經(jīng)濟適用的真空泵是非常重要的。

zui常用的真空泵就是機械泵，它通過(guò)轉子旋轉，將空氣從吸氣口吸入，然后從出氣口排出。機械泵能夠達到的真空度大概為1Pa。但是這樣的真空度還遠遠達不到很多物理實(shí)驗的要求，所以更高要求的真空環(huán)境就需要用到渦輪分子泵或磁懸浮分子泵來(lái)獲得。渦輪分子泵是利用高速旋轉的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。由于渦輪分子泵需要在粗真空下才能正常工作，一般利用機械泵作為其前級泵。分子泵進(jìn)入正常轉速后利用烘烤的手段可得到1E-8Pa的極限壓力。

分子泵的高轉速也使得其十分“脆弱”，一?；覊m甚至氣體本身都會(huì )對運轉中的葉片造成巨大的傷害。并且只要分子泵在啟動(dòng)狀態(tài)，前級機械泵就需要一直維持運轉。啟動(dòng)和關(guān)閉都要嚴格遵循程序，否則就可能造成“機毀泵亡”。