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真空環(huán)境
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尼得科儀器株式會(huì )社開(kāi)發(fā)出適用于真空環(huán)境的液晶基板搬運機器人
- 尼得科株式會(huì )社的集團公司尼得科儀器株式會(huì )社（舊日本電產(chǎn)三協(xié)）開(kāi)發(fā)出了能夠在真空環(huán)境下工作的液晶基板搬運機器人，該機器人具有與在大氣環(huán)境下工作同等的關(guān)節自由度。 在液晶面板和有機EL等顯示器的制造工藝中，為了同時(shí)實(shí)現生產(chǎn)成本的削減和屏幕尺寸的大型化，不斷需要更大的母玻璃基板和更快的處理速度。由于可搬運的玻璃尺寸越大搬運效率就越高，因此近年來(lái)對3m×3m大尺寸母玻璃基板的搬運需求不斷增加。母玻璃基板的薄膜處理、蒸鍍等工藝需要極高潔凈度的真空環(huán)境，因此，搬運機器人也必須具備能承受真空環(huán)境的性能。&n
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真空環(huán)境介紹
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