半導體圈大動(dòng)作！8家上市公司擬入股銳立平芯 FD-SOI能否開(kāi)辟新賽道？

   1月9日訊，隨著(zhù)下游市場(chǎng)需求爆發(fā)、成本優(yōu)勢顯現，FD-SOI工藝技術(shù)逐漸受到市場(chǎng)的青睞。

　　江豐電子、富創(chuàng )精密等公司近日宣布擬認購中科同芯的合伙份額，用于投資基于FD-SOI工藝的國產(chǎn)晶圓制造廠(chǎng)商銳立平芯的股權。中科同芯總規模將達4.5億元，投資人囊括概倫電子、北方華創(chuàng )、安集科技等8家半導體產(chǎn)業(yè)鏈上市公司。

　　值得關(guān)注的是，銳立平芯發(fā)力FD-SOI工藝技術(shù)，不僅豐富了國內晶圓制造技術(shù)路線(xiàn)，而且未來(lái)有望繞開(kāi)EUV發(fā)力先進(jìn)制程邏輯芯片制造，幫助本土半導體開(kāi)辟新賽道。

　　豐富國內晶圓制造技術(shù)路線(xiàn)

　　近日，江豐電子和富創(chuàng )精密先后發(fā)布了對外投資公告，擬分別出資3000萬(wàn)元、8000萬(wàn)元認購廣州中科同芯半導體技術(shù)合伙企業(yè)(以下稱(chēng)“中科同芯”)的合伙份額。同時(shí)參與此次認購的，還有北方華創(chuàng )、江豐同創(chuàng )半導體產(chǎn)業(yè)基金。

　　此外，上述4家投資者增資入股之前，已有中科齊芯、安集科技、北京君正、南大光電、芯源微、概倫電子等7家投資機構。本次交易完成后，中科同芯總規模將達4.5億元，投資人囊括8家半導體產(chǎn)業(yè)鏈上市公司。

　　據了解，中科同芯系投資平臺，僅投資于銳立平芯微電子(廣州)有限責任公司(以下稱(chēng)“銳立平芯”)的股權。銳立平芯是采用FD-SOI(即全耗盡型絕緣體上硅技術(shù))平面工藝的先進(jìn)制程晶圓代工廠(chǎng)，本輪融資主要用于產(chǎn)能建設及工藝研發(fā)。

　　“本次投資中科同芯，主要是希望進(jìn)一步完善產(chǎn)業(yè)布局。公司未來(lái)會(huì )根據它的需求做相應的研發(fā)，提供靶材和零部件等材料?！苯S電子相關(guān)負責人向《科創(chuàng )板日報》記者表示，大家比較認可這個(gè)項目，本次參與認購的投資機構屬于第二批。

　　資料顯示，銳立平芯成立于2022年3月17日，聚焦打造FD-SOI工藝平臺。截至發(fā)稿日，廣州灣區半導體產(chǎn)業(yè)集團、澳芯集成分別持股55.56%、44.44%，由國家科技重大專(zhuān)項02專(zhuān)項技術(shù)總師、中國半導體協(xié)會(huì )集成電路分會(huì )理事長(cháng)、原中國科學(xué)院微電子研究所所長(cháng)葉甜春擔任公司董事長(cháng)兼總經(jīng)理。

　　“從技術(shù)性能本身來(lái)講，FD-SOI技術(shù)系統非常適合現在，尤其適用于移動(dòng)通信、IOT、汽車(chē)電子等市場(chǎng)領(lǐng)域。國內廠(chǎng)商此時(shí)發(fā)力FD-SOI技術(shù)，不僅能夠滿(mǎn)足下游市場(chǎng)需求，而且進(jìn)一步豐富國內技術(shù)路線(xiàn)?！比A芯金通投資基金創(chuàng )始合伙人吳全告訴記者，半導體產(chǎn)業(yè)鏈公司入股、相互協(xié)同，有利于助推國內FD-SOI生態(tài)體系建設。

　　據悉，FD-SOI和FinFET(即鰭式場(chǎng)效應晶體管)都是晶圓制造領(lǐng)域關(guān)鍵的先進(jìn)工藝技術(shù)，但由于多種原因，FinFET占據目前市場(chǎng)主流位置。國際上僅格芯、三星、意法半導體等龍頭廠(chǎng)商采用雙技術(shù)路線(xiàn)方案，國內幾乎無(wú)一家晶圓廠(chǎng)去發(fā)展FD-SOI工藝。

　　中芯國際相關(guān)人士向記者坦言，目前公司沒(méi)有FD-SOI技術(shù)?！熬A制造技術(shù)架構體系有著(zhù)較高的技術(shù)壁壘，廠(chǎng)商面臨著(zhù)復雜程度、高研發(fā)投入及未來(lái)走向等多重因素考驗，多數廠(chǎng)商扎根一個(gè)架構體系?！?/span>

　　繞開(kāi)EUV發(fā)力先進(jìn)制程

　　上述知情人士告訴者，廣州市政府對FD-SOI技術(shù)寄予厚望，期望將銳立平芯打造成世界級FD-SOI集成電路制造基地，助力粵港澳大灣區建設“國家集成電路第三極”。

　　據悉，葉甜春目前同時(shí)兼任廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院院長(cháng)(以下稱(chēng)“研究院”)，該研究院由中國科學(xué)院集成電路創(chuàng )新研究院與廣州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區管理委員會(huì )共同發(fā)起成立，屬于省級事業(yè)單位。

　　研究院聚焦FD-SOI核心關(guān)鍵技術(shù)，構建以FD-SOI工藝、器件、材料、EDA技術(shù)為核心的FD-SOI創(chuàng )新生態(tài)體系。研發(fā)方向上則覆蓋2X納米FD-SOI產(chǎn)業(yè)技術(shù)、1X納米及以下FDS-OI先導工藝、基于FD-SOI工藝的量子計算等領(lǐng)域的研究。

　　值得關(guān)注的是，隨著(zhù)后28nm時(shí)代的來(lái)臨，格芯、意法半導體等廠(chǎng)商正加大FD-SOI技術(shù)領(lǐng)域的投入力度，再度與FinFET相競爭。

　　2022年4月，CEA(即法國原子能和替代能源委員會(huì ))、Soitec、格芯及意法半導體計劃聯(lián)合制定行業(yè)的下一代FD-SOI技術(shù)發(fā)展規劃，促進(jìn)FD-SOI在汽車(chē)、物聯(lián)網(wǎng)和移動(dòng)應用中的應用。意法半導體甚至重啟了向1X納米工藝節點(diǎn)的進(jìn)軍，在先進(jìn)制程方面明確選擇了FD-SOI技術(shù)路線(xiàn)為突破重點(diǎn)。

　　對國內而言，葉甜春曾對外直言，FD-SOI工藝可幫助本土半導體開(kāi)辟新賽道，未來(lái)5-10年FD-SOI技術(shù)將代替目前主流的FinFET技術(shù)。尤其是先進(jìn)光刻技術(shù)被禁后，FD-SOI技術(shù)路線(xiàn)能夠幫助國內廠(chǎng)商未來(lái)繞開(kāi)EUV發(fā)力先進(jìn)制程邏輯芯片制造。

　　“在14nm被國外限制的情況下，國產(chǎn)廠(chǎng)商可以通過(guò)22nm FD-SOI工藝來(lái)升級或替代相關(guān)技術(shù)需求。且FD-SOI在設計和制造成本上具有優(yōu)勢，開(kāi)發(fā)周期更短?！表f豪創(chuàng )芯高級投資經(jīng)理方亮向記者解釋稱(chēng)，22nm FD-SOI工藝比14nm FinFET制程簡(jiǎn)單，光罩數減少12%左右，光罩成本減少35%，可以抵消SOI晶圓帶來(lái)的成本增加。

　　此外，葉甜春曾提到，國產(chǎn)平面工藝設備自主率高達70%，有能力支撐FD-SOI技術(shù)開(kāi)發(fā)?！叭绻唤üS(chǎng)，FD-SOI做不起來(lái)。需要既把工廠(chǎng)建起來(lái)，同時(shí)建立起相應的集成電路設計環(huán)境、引導新一批設計公司，引導國內的裝備企業(yè)、材料企業(yè)和零部件企業(yè)集聚，打造基于FD-SOI的全生態(tài)上下游，努力在集成電路領(lǐng)域實(shí)現科技自立自強。如果以產(chǎn)品發(fā)布為標志，在大家的共同努力下，預計4年形成基本的產(chǎn)業(yè)規模?！?/p>