沈陽(yáng)儀表院擴散硅壓力敏感芯片
沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院,是始建于1961年的國家級科研院所,目前隸屬于國機集團。12年年底正式掛牌成立的國家傳感器研究中心,是增強傳感器產(chǎn)業(yè)核心競爭能力和發(fā)展為目標的研究開(kāi)發(fā)實(shí)體研究院所,是國家傳感器產(chǎn)業(yè)的重要組成部分。
我院是我國最早(1981年)從事硅基敏感芯片、研究、開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)的單位,是中國芯片,芯體制造技術(shù)策源地。我院始終以芯片研制為核心技術(shù),擁有光刻、離子注入、膜片腐蝕等芯片制造技術(shù),擁有全套芯片制造設備,并廣泛運用于航天,航空,船舶等領(lǐng)域。
擴散硅壓力敏感芯片
HB2103系列敏感芯片
特點(diǎn)
閉合,半開(kāi),全開(kāi)硅電阻電橋連接形式。
恒流激勵,靈敏度溫度自補償功能。
反向PN結電隔離構造,玻璃絕緣襯片。
適用于表壓,絕壓,差壓,負壓測量。
覆蓋100kPa~100MPa所有常用量程
技術(shù)指標 芯片尺寸(μm)2050*2050,2450*2450,3340*3340;工作溫度:-45℃~+100℃(可定制特殊溫度)過(guò)載能力:2倍基準量程(<10MPa);1.5倍基準量程(≥10MPa)橋路電阻:5(1±20%)KΩ;4(1±20%)KΩ;3.3(1±20%)KΩ滿(mǎn)量程輸出:≥60mV線(xiàn)性度:±0.25%FS零點(diǎn)溫度影響:±0.1%FS/℃滿(mǎn)量程溫度影響:±0.1%FS/℃供電電源:恒流1mA、1.5mA或恒壓5VDC 聯(lián)系我們
沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院有限公司
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