新規范適應技術(shù)進(jìn)步需求

　　潔凈技術(shù)是一門(mén)綜合技術(shù)，其涉及的領(lǐng)域主要包括生產(chǎn)工藝、空氣凈化、潔凈建筑以及生產(chǎn)中所需的物質(zhì)純化等技術(shù)，對于電子工業(yè)而言，還必須考慮生產(chǎn)車(chē)間的排風(fēng)問(wèn)題。我們編寫(xiě)國家標準《電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范》(GB50472)的主導思想就是要使這個(gè)規范適應綜合技術(shù)發(fā)展的需要。

　　電子產(chǎn)品潔凈廠(chǎng)房對空氣潔凈度和各類(lèi)雜質(zhì)的控制有嚴格的要求，生產(chǎn)環(huán)境控制就是對與產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程相關(guān)的各類(lèi)污染物的控制。以集成電路制造為例，集成電路制造是利用高精密設備，將物理、化學(xué)、電子、機械等技術(shù)融合應用于產(chǎn)品制造過(guò)程，為了獲得高質(zhì)量、高成品率，必須嚴格控制芯片缺陷。導致芯片缺陷的因素十分復雜，其污染源可能是來(lái)自空氣中的粒子、加工過(guò)程中使用的各類(lèi)工藝介質(zhì)中的雜質(zhì)、清洗用純水中的雜質(zhì)或工器具帶來(lái)的雜質(zhì)。以集成電路生產(chǎn)為代表的電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的連續性和自動(dòng)化程度的不斷提高以及高精密制造設備的日益廣泛應用，使電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的形式、構造和整體建造成本都發(fā)生了極大的變化，電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房采用多種使用功能的組合式建筑日益增多;電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及其制造設備的集成化、過(guò)程控制自動(dòng)化、安全設施的日益完善，大大提高了電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的穩定性、安全可靠程度。電子產(chǎn)品生產(chǎn)不僅對生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度有嚴格要求，而且還對電子產(chǎn)品與生產(chǎn)過(guò)程直接接觸的各種高純介質(zhì)——— 高純水、高純氣體、高純化學(xué)品等的純度雜質(zhì)含量等有十分嚴格的要求;某些電子產(chǎn)品對振動(dòng)、靜電、電磁干擾、電力供應也有較為嚴格的要求。

　　基于電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的上述特點(diǎn)，2001年頒布實(shí)施的國家標準《潔凈廠(chǎng)房設計規范》(GB50073)中的有關(guān)規定已不能滿(mǎn)足需要，尤其是在涉及化學(xué)分子污染物的控制以及安全、消防等方面更是需要制定新的規范條文。由國家住房和城鄉建設部和國家質(zhì)量監督檢驗檢疫總局聯(lián)合發(fā)布，并從2009年7月1日開(kāi)始實(shí)施的國家標準《電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范》(GB50472)，正是以前述的電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的特點(diǎn)和工程實(shí)踐為依據，結合我國電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計建造和運行的實(shí)際情況，認真總結多年來(lái)電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計建造和運行方面的經(jīng)驗之后而制定的。