大尺寸液晶面板生產(chǎn)對AMHS提出更高要求

　　液晶顯示器從前主要用于筆記本電腦、臺式機顯示器等領(lǐng)域。隨著(zhù)時(shí)代的進(jìn)步，從2004年開(kāi)始，TFT-LCD在平板電視領(lǐng)域的應用規模日趨擴大，已經(jīng)逐漸成為平板電視機和顯示器的主角。為提高生產(chǎn)效率，液晶面板廠(chǎng)商加工的玻璃基板尺寸越來(lái)越大，AMHS(自動(dòng)物料搬運系統)已經(jīng)成為液晶面板生產(chǎn)中不可或缺的搬運設備。另外，AMHS的效率還將直接影響全廠(chǎng)的生產(chǎn)效率。

　　隨著(zhù)平板電視尺寸越來(lái)越大，用于制造液晶顯示器的玻璃基板也隨之逐漸擴大。根據玻璃基板尺寸的大小，液晶面板生產(chǎn)線(xiàn)被劃分為不同世代。第1代液晶玻璃基板的尺寸僅為300mm×400mm，目前的主流產(chǎn)品是第6代到第8代產(chǎn)品，其中第6代液晶玻璃基板的尺寸為1500mm×1800mm，而第8代液晶玻璃基板的尺寸達到2200mm×2600mm。如今，已經(jīng)有些公司開(kāi)始生產(chǎn)第10代產(chǎn)品，其玻璃基板尺寸達到2850mm×3050mm。

　　為了按照正確的規則調節通過(guò)彩色濾光片的光通量，需要在玻璃基板上制作TFT陣列，這是極為復雜的電路多層刻制工程。其中主要有薄膜(金屬、電介質(zhì)或導電玻璃)形成、噴涂光刻膠、部分屏蔽曝光、顯影及刻蝕等工序，因為需要多次制作不同的薄膜圖形，在生產(chǎn)過(guò)程中，玻璃基板需要在幾個(gè)不同的生產(chǎn)區域之間往返進(jìn)出。而實(shí)現這些搬運動(dòng)作的設備和控制裝置就是AMHS。在高度自動(dòng)化的生產(chǎn)過(guò)程中，AMHS能夠高效、及時(shí)、保質(zhì)保量地將玻璃基板搬運到設定的裝置處。液晶面板廠(chǎng)加工的玻璃基板趨于大型化，這對自動(dòng)搬運系統提出了更高的要求。

　　在半導體生產(chǎn)系統尤其是12英寸集成電路廠(chǎng)房?jì)?，AMHS的應用也非常普遍，但半導體和液晶面板生產(chǎn)對AMHS的要求不盡相同。在半導體生產(chǎn)過(guò)程中，數十片直徑為300mm的硅片放置在專(zhuān)用容器內進(jìn)行搬運，其重量最多為10kg，擔當主角的是天井走行式OHT(頭頂運輸)搬送設備。在工廠(chǎng)室內頂部設置的軌道上，幾十臺空中小車(chē)沿著(zhù)軌道行走，在特定的制造裝置處裝卸POD(晶圓盒)，并在各個(gè)制造裝置之間多次來(lái)回往復?，F在半導體AMHS中所需要解決的是如何減少無(wú)用的緩沖、如何使空中小車(chē)更加高速化、如何有效地控制走行、如何優(yōu)化管理大量的空中小車(chē)等等。

　　對大尺寸TFT-LCD陣列生產(chǎn)而言，每次搬運的玻璃基板重量已達到1噸以上。因此，如何快速、準確地完成重達1噸的玻璃基板的搬運任務(wù)，保證較高的加速度、減速度，在搬運過(guò)程中不破損、少振動(dòng)，并且要確保較高的生產(chǎn)節奏，這是AMHS提供商所面臨的課題。

　　跟半導體生產(chǎn)一樣，在液晶面板的加工過(guò)程中，AMHS還要滿(mǎn)足潔凈廠(chǎng)房的要求。TFT-LCD陣列工程是在厚度不足1毫米的玻璃基板上制作細小且復雜的TFT層，由于這一工程是左右液晶顯示器品質(zhì)的至關(guān)重要的工程，需要盡可能地避免灰塵的污染及振動(dòng)影響。整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程需要在嚴格控制潔凈度的無(wú)塵室內生產(chǎn)。而AMHS是在清潔環(huán)境下工作的自動(dòng)化搬送系統，它本身絕對不能成為“灰塵顆粒產(chǎn)生的源頭”。

　　玻璃基板的表面積變大，更容易落上灰塵，因此在搬運過(guò)程中要避免產(chǎn)生灰塵，避免攜帶靜電荷。而且，在玻璃基板的保存、搬運、交接等各個(gè)環(huán)節中所開(kāi)設的通道也隨玻璃基板尺寸的變大而變大，所以維持并確保所要求的潔凈度變得越發(fā)困難。隨著(zhù)通道口的尺寸加大和數量增加，潔凈室內空氣流動(dòng)越來(lái)越難以控制。

　　村田機械在潔凈系統的AMHS行業(yè)內已經(jīng)耕耘了20多年。在創(chuàng )業(yè)之初，村田機械是一家紡織機械生產(chǎn)商，此后不斷將業(yè)務(wù)范圍擴大至工業(yè)機械、物流系統、信息設備領(lǐng)域，是日本的主要工業(yè)機械廠(chǎng)商。在液晶制造行業(yè)的AMHS領(lǐng)域，村田機械的AMHS系統得到了眾多用戶(hù)的青睞，占有較大的市場(chǎng)份額。