加速度計不再是MEMS專(zhuān)利 Epson完成石英加速度計開(kāi)發(fā)

　　由于感測加速度與角速度等物理量變化并非硅微機電系統(MEMS)的專(zhuān)利，石英組件供貨商Epson Toyocom亦預定在2010年推出以石英為基礎的加速度感應器，以分食龐大的加速度感應器市場(chǎng)大餅。

　　Epson Toyocom開(kāi)發(fā)技術(shù)統括部暨商品企劃戰略部課長(cháng)宮澤輝久指出，該公司的石英加速度傳感器開(kāi)發(fā)已接近完成階段，預計在2010年進(jìn)行量產(chǎn)。

　　拜任天堂(Nintendo)的Wii游戲機和蘋(píng)果(Apple)iPhone熱潮所賜，加速度、角速度等感測組件也成當紅炸子雞，讓硅微機電系統(MEMS)快速竄紅。不過(guò)，石英組件也已蓄積能量，不愿錯失此一商機。Epson Toyocom開(kāi)發(fā)技術(shù)統括部暨商品企劃戰略部課長(cháng)宮澤輝久指出，石英音叉本身除可產(chǎn)生穩定的頻率頻率外，在設計上略經(jīng)修改后，也可以扮演加速感應器的角色。其動(dòng)作原理在于外界施加的力量會(huì )改變石英音叉的共振頻率，因此只要檢測石英共振頻率的變化，就能得知該力量的強度。

　　目前Epson Toyocom已開(kāi)發(fā)出石英加速度傳感器的原型，除了石英音叉本體外，該組件還包含其它周邊電路，系負責將頻域訊號轉換成模擬電壓輸出。該公司預計將在2010年量產(chǎn)以石英為基礎的第一款加速度傳感器，。

　　事實(shí)上，石英晶體除了被用來(lái)產(chǎn)生頻率訊號外，近年來(lái)也發(fā)展出許多不同的新應用，如角速度感測、壓力感測等，均為石英組件已占有一席之地的領(lǐng)域。為持續擴大戰果，Epson Toyocom的下一步計劃便是進(jìn)軍規模更龐大的加速度感應器市場(chǎng)。

　　不過(guò)，石英加速度感應器并非無(wú)懈可擊。例如與硅微機電系統加速度感應器相比，石英方案的尺寸無(wú)法像前者般持續微縮，難以實(shí)現三軸加速度感應功能。因此，宮澤認為，未來(lái)石英和硅感應器會(huì )自然而然地形成市場(chǎng)區隔，例如對高可靠度或偵測慢速移動(dòng)的應用而言，石英方案會(huì )是比較理想的選擇，因為石英傳感器具備近乎免疫于溫度變化的特性，且其噪聲水平只有硅微機電的十分之一左右，因此特別適合用來(lái)偵測微小的加速度變化。