ITO靶材向大尺寸高密度方向發(fā)展

　　ITO靶材是LCD產(chǎn)業(yè)鏈的重要一環(huán)，是基本的配套材料。近年來(lái)隨著(zhù)平面顯示器行業(yè)的蓬勃發(fā)展，對ITO靶材的需求也大大增長(cháng)。

　　ITO靶材供應以日本為主

　　ITO材料是一種n型半導體材料，該種材料包括ITO粉末、靶材、導電漿料及ITO透明導電薄膜。其主要應用分為：平板顯示器(FPD)產(chǎn)業(yè)，如液晶顯示器(LCD)、薄膜晶體管顯示器(TFT-LCD)、電激發(fā)光顯示器(EL)、場(chǎng)發(fā)射顯示器(FED)、電致有機發(fā)光平面顯示器(OELD)、等離子顯示器(PDP)等;光伏產(chǎn)業(yè)，如薄膜太陽(yáng)能電池;功能性玻璃，如紅外線(xiàn)反射玻璃、抗紫外線(xiàn)玻璃如幕墻玻璃、飛機、汽車(chē)上的防霧擋風(fēng)玻璃、光罩和玻璃型磁盤(pán)等三大領(lǐng)域。

　　2008年全球ITO靶材年需求量1500噸左右，價(jià)格1000美元/公斤左右，市場(chǎng)總量15億美元左右。

　　目前國內ITO靶材需求量約150噸。隨著(zhù)中國經(jīng)濟的發(fā)展和全球產(chǎn)業(yè)分工的深化，日本、我國臺灣地區、韓國的許多平板顯示器制造企業(yè)都將他們的制造基地移到中國大陸，未來(lái)中國大陸將成為全球最大的液晶顯示器制造中心。預計2010國內ITO靶材需求量將超過(guò)500噸。

　　ITO靶材的供應，主要的供應商以日本為主，其中日本能源、日本三井礦業(yè)公司、日本東曹3家廠(chǎng)商囊括了80%以上的ITO市場(chǎng)。

　　國內主要生產(chǎn)廠(chǎng)家有山東威海藍狐特種材料開(kāi)發(fā)有限公司、株洲冶煉集團、柳州華錫集團有限責任公司、中色(寧夏)東方集團公司等。國內由于ITO靶材生產(chǎn)工藝的局限性，靶材產(chǎn)品尺寸小，品質(zhì)不高，產(chǎn)品大多只能用于中、低端市場(chǎng)，國內高端顯示器用靶材全部依賴(lài)進(jìn)口。

　　ITO靶材3種生產(chǎn)工藝各具特色

　　ITO靶材的生產(chǎn)工藝可以分為3種：熱等靜壓法(HIP)、熱壓法(HP)和氣氛燒結法。各種生產(chǎn)工藝及其特點(diǎn)簡(jiǎn)介如下。

　　熱等靜壓法

　　ITO靶材的熱等靜壓制作過(guò)程是將粉末或預先成形的胚體，在800℃～1400℃及1000kgf/cm 2～2000kgf/cm 2的壓力下等方加壓燒結。熱等靜壓工藝制造產(chǎn)品密度高、物理機械性能好，但設備投入高，生產(chǎn)成本高，產(chǎn)品的缺氧率高。

　　熱壓法

　　ITO靶材的熱壓制作過(guò)程是在石墨或氧化鋁制的模具內充填入適當粉末以后，以 100kgf/cm 2～1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓，同時(shí)以1000℃～1600℃進(jìn)行燒結。