我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破

　　科技部和中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì )在洛陽(yáng)中硅高科組織召開(kāi)驗收評審會(huì )。中硅高科承擔的國家"十一五"科技支撐計劃課題大型三氯氫硅合成、提純工藝技術(shù)與關(guān)鍵裝置研究、高效加壓還原爐系統研究、大型低溫加壓四氯化硅氫化技術(shù)與裝置研究三個(gè)課題和參與完成的多晶硅標準、專(zhuān)利體系建設與研究課題順利通過(guò)驗收評審。專(zhuān)家認為，這四項科技成果成功解決了規?；?a class="contentlabel" href="http://dyxdggzs.com/news/listbylabel/label/多晶硅">多晶硅生產(chǎn)中的瓶頸問(wèn)題，填補國內空白，標志著(zhù)我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破。