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三氯氫硅
三氯氫硅 文章 進(jìn)入三氯氫硅技術(shù)社區
我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破
- 科技部和中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì )在洛陽(yáng)中硅高科組織召開(kāi)驗收評審會(huì )。中硅高科承擔的國家"十一五"科技支撐計劃課題大型三氯氫硅合成、提純工藝技術(shù)與關(guān)鍵裝置研究、高效加壓還原爐系統研究、大型低溫加壓四氯化硅氫化技術(shù)與裝置研究三個(gè)課題和參與完成的多晶硅標準、專(zhuān)利體系建設與研究課題順利通過(guò)驗收評審。專(zhuān)家認為，這四項科技成果成功解決了規?；嗑Ч枭a(chǎn)中的瓶頸問(wèn)題，填補國內空白，標志著(zhù)我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破。
- 關(guān)鍵字： 電子材料 多晶硅 三氯氫硅
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三氯氫硅介紹
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