極大規模集成電路重大專(zhuān)項進(jìn)入全面實(shí)施階段

　　3月26日，國家科技重大專(zhuān)項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”推進(jìn)會(huì )在科技部召開(kāi)，科技部部長(cháng)萬(wàn)鋼、專(zhuān)項領(lǐng)導小組成員單位的領(lǐng)導出席會(huì )議。此次會(huì )議的召開(kāi)標志著(zhù)該重大專(zhuān)項已經(jīng)進(jìn)入全面實(shí)施階段。

　　據介紹，“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專(zhuān)項面向全國廣泛征集項目，經(jīng)過(guò)嚴格的篩選及“三評兩審”立項程序，目前擬啟動(dòng)54個(gè)項目，其中，裝備整機15項、成套工藝11項、關(guān)鍵材料9項、關(guān)鍵技術(shù)與零部件11項、前瞻性研究等8項，總投資180多億元。

　　“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專(zhuān)項旨在開(kāi)發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備，掌握具有自主知識產(chǎn)權的成套先進(jìn)工藝及相關(guān)新材料技術(shù)，打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴(lài)進(jìn)口的狀況，帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升和結構調整。該重大專(zhuān)項的實(shí)施將會(huì )在整體上極大地提升我國電子制造業(yè)和裝備制造業(yè)的創(chuàng )新能力和競爭力。據了解，目前該重大專(zhuān)項已經(jīng)啟動(dòng)的項目大多具有較好的產(chǎn)業(yè)化基礎和良好的市場(chǎng)發(fā)展前景。

　　專(zhuān)家認為，在中央擴大內需十項措施和十大產(chǎn)業(yè)調整振興規劃實(shí)施之際啟動(dòng)“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專(zhuān)項，是發(fā)揮科技支撐作用，促進(jìn)經(jīng)濟平穩較快發(fā)展的重大行動(dòng)，對提高“擴內需、保增長(cháng)”的科技含量，從根本上實(shí)現“調結構、上水平”的目標，推動(dòng)我國經(jīng)濟盡快走上創(chuàng )新驅動(dòng)發(fā)展軌道具有重要意義。