日開(kāi)發(fā)可預測半導體特性變化的電子模型
據日本《日刊工業(yè)新聞》報道,一家由東芝、NEC電子等11家日本半導體生產(chǎn)商共同出資建立的高技術(shù)企業(yè)半導體尖端技術(shù)公司,近日成功開(kāi)發(fā)出一種電子模型,該模型可被應用于預測互補金屬氧化物半導體(CMOS)晶體管的特性變動(dòng)。
在下一代半導體的研制與開(kāi)發(fā)過(guò)程中,通常都會(huì )應用到一種叫淺溝道隔離(STI)的技術(shù),這種技術(shù)被用于分隔大規模集成電路中CMOS晶體管的相鄰元件。而應用新開(kāi)發(fā)的這種模型,可以在進(jìn)行STI工序時(shí)預測所產(chǎn)生的應力引起的晶體管的特性變化,從而使對相鄰元件間距離的計算更加精確,不必像過(guò)去進(jìn)行半導體設計時(shí)那樣考慮過(guò)多的冗余。
據該公司稱(chēng),這項發(fā)明可以將大規模集成電路的性能最大提高20%%,并將被日本生產(chǎn)商應用于下一代大規模集成電路的開(kāi)發(fā)。
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