中國首臺具有自主知識產(chǎn)權MOCVD設備問(wèn)世
由青島杰生電氣有限公司承擔的國家863半導體照明工程重點(diǎn)項目“氮化鎵-MOCVD深紫外”LED材料生長(cháng)設備研制取得突破,我國首臺具有自主知識產(chǎn)權的并能同時(shí)生長(cháng)6片外延片的MOCVD設備研制成功。
本文引用地址:http://dyxdggzs.com/article/82314.htm該設備在高亮度的藍光發(fā)光二極管(LED)、激光器(LD)、紫外光電探測器、高效率太陽(yáng)能電池、高頻大功率電子器件領(lǐng)域具有廣泛應用。MOCVD是半導體照明上游關(guān)鍵設備,目前國內半導體照明產(chǎn)業(yè)的研發(fā)和生產(chǎn)所需設備全部依賴(lài)進(jìn)口。在此之前,杰生電氣已先后研發(fā)出2英寸單片和2英寸3片的氮化鎵基外延材料生長(cháng)設備,已獲國家發(fā)明專(zhuān)利該系列設備,在藍寶石Sapphire晶片和碳化硅SiC晶片生長(cháng)出各種結構的GaN基材料。
成立于2001年的杰生電氣,專(zhuān)門(mén)從事氮化鎵外延生長(cháng)“金屬有機物氣相淀積法”設備(MOCVD SYSTEM)的研制開(kāi)發(fā)和生產(chǎn),杰生電氣以研發(fā)和生產(chǎn)高質(zhì)量GaN-MOCVD SYSTEM為起點(diǎn),開(kāi)發(fā)具有完全自主知識產(chǎn)權的從研究型到生產(chǎn)型MOCVD SYSTEM,是國內目前唯一的GaN-MOCVD設備生產(chǎn)制造廠(chǎng)家。
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