ACS測試系統將圓片級可靠性測試速度提高五倍

　　新興測量需求解決方案領(lǐng)導者美國吉時(shí)利（Keithley）儀器公司（NYSE代碼：KEI），日前宣布增強了其ACS（Automated Characterization Suite，自動(dòng)特征分析套件）軟件，納入了面向半導體可靠性與壽命預測測試應用的WLR（wafer level reliability，圓片級可靠性）備選測試工具。4.0版以ACS軟件已有的單點(diǎn)和多點(diǎn)并行測試功能為基礎，增加了對數據庫的支持，以及最新的RTM（Reliability Test Module，可靠性測試模塊）軟件工具和備選license以及ACS數據分析功能。此外，新增可靠性測試與數據分析工具使得基于A(yíng)CS 測試系統進(jìn)行壽命預測速度比傳統WLR測試方案快5倍。在設計新集成電路技術(shù)研發(fā)、工藝集成和工藝監測階段，通過(guò)加快WLR測試，ACS系統能夠大大縮短新產(chǎn)品上市時(shí)間。更多詳情請訪(fǎng)問(wèn)keithley.acrobat.com/acswlr。

　　基于A(yíng)CS測試系統的硬件配置靈活，能夠滿(mǎn)足器件級、圓片級和晶匣級各種半導體特征分析需求。ACS系統還可以結合吉時(shí)利2600系列數字源表或（和）4200-SCS半導體特征分析系統使用。

　　能夠更快提供關(guān)鍵器件信息的真正并行化WLR測試

　　WLR（Wafer Level Reliability，圓片級可靠性）測試用于預測半導體元件，例如晶體管、電容器和互連元件的可靠壽命。這種在圓片測試結構上進(jìn)行測試能夠在產(chǎn)品研發(fā)過(guò)程中揭示出關(guān)鍵器件可靠性信息；類(lèi)似測試還用于在器件進(jìn)入量產(chǎn)階段之后監測制造工藝的一致性。WLR測試通過(guò)將增強的電壓、電流和/或熱量施加到器件上，能夠加速器件的失效過(guò)程。為了判定加速因子，WLR測試隨著(zhù)時(shí)間變化將不同大小的物理量施加到一組器件上。與每次只對一個(gè)器件進(jìn)行過(guò)載測試傳統WLR系統不同的是，ACS軟件中最新的WLR工具能夠將不同過(guò)載條件（電壓或電流）加載到每個(gè)器件上，對多個(gè)器件進(jìn)行并行測試。

　　隨著(zhù)薄膜厚度不斷縮小以及高溫應用中器件可靠性越來(lái)越重要，這些技術(shù)挑戰使得實(shí)施并行WLR測試需求比以往任何時(shí)候都更加迫切。利用并行測試技術(shù)，測試工程師通過(guò)測試由多個(gè)器件組成單一測試結構，分析出被測器件的壽命加速因子。很多在傳統WLR測試中已經(jīng)得以應用測試結構都兼容并行測試技術(shù)，從而在不需要修改測試結構情況下將測試系統產(chǎn)能提高2～5倍。但是，這種真正并行WLR測試僅僅在每個(gè)管腳都有專(zhuān)用SMU（Source-Measure Unit，源測量單元）的測試系統架構下才有可能實(shí)現。

　　基于A(yíng)CS的測試系統在配置多臺2600系列數字源表之后，是唯一具有這種每管腳SMU測試靈活性的商用解決方案。ACS通過(guò)利用TSP-Link®虛擬底板連接多臺2600數字源表的板載測試腳本處理器（TSP®），將2600數字源表互連簡(jiǎn)化成一種極其靈活的動(dòng)態(tài)可重構SMU陣列。這種系統架構使得用戶(hù)能夠將各個(gè)SMU配置為一個(gè)大規模、緊密協(xié)同機群并行工作，或者配置為若干個(gè)較小規模的機群共同測試多個(gè)器件。2600系列數字源表板載處理器和虛擬底板融合了這些儀器的最佳測量速度，具有精確的源/測量時(shí)序，這對于捕捉快速閃現的擊穿事件是至關(guān)重要的?；贏(yíng)CS系統可以隨意配置2臺到40多臺大功率的吉時(shí)利SMU，能夠提供或測量200V的電壓或1.5A的電流。

　　簡(jiǎn)潔的測試配置與分析過(guò)程

　　ACS 4.0版提供RTM（Reliability Test Module，可靠性測試）備選工具是一種功能強大的過(guò)載/測量定序工具，采用了交互式界面，能夠測試器件可靠性（HCI、BTI等）、柵氧完整性（TDDB、JRAMP、VRAMP等）和金屬互連性（EM）。這一模塊靈活的測試定序功能支持前測試和后測試，以及內過(guò)載測試和過(guò)載監測功能。它不但兼容JEDEC標準測試方法（例如JESD61和JESD92），而且其良好的靈活性還能夠滿(mǎn)足快速創(chuàng )建測試例程對先進(jìn)納米結構進(jìn)行特征分析所需的靈活性。

　　在可靠性測試過(guò)程中，系統可以將原始測試數據記錄到數據庫中和/或繪制出實(shí)時(shí)曲線(xiàn)。通過(guò)這些實(shí)時(shí)曲線(xiàn)，可靠性測試工程師能夠在測試完成之前提前“窺視”到測試的輸出結果，從而能夠判斷出那些費時(shí)測試工作是否能夠提供有意義的測試結果。備選數據分析模塊能夠從數據庫中導入測試結果，然后應用可靠性測試工程師所選分析項目中定義規則和模型。在定義好某種分析過(guò)程之后，可以將其重用于分析新導入的數據。對于剛剛接觸WLR測試的用戶(hù)，這一功能不需要構建自定義分析軟件以及通過(guò)電子表格手工處理數據。但是，對于已經(jīng)開(kāi)發(fā)出了自己定制的分析軟件并希望繼續使用用戶(hù)而言，ACS 4.0提供軟件工具簡(jiǎn)化了從其他電子表格提取數據的操作。

　　這種數據分析功能支持一些標準分析技術(shù)，例如常規擬合、加速和分布式模型，包括Lognormal和Weibull。用戶(hù)可以很方便地對模型進(jìn)行重新組織和編輯，創(chuàng )建新的分析過(guò)程。利用內置腳本語(yǔ)言，用戶(hù)還可以輕松定義出自己的模型。這種可靠性測試的公式化工具具有各種先進(jìn)功能，包括建模、線(xiàn)性擬合、標準參數提取和支持用戶(hù)數據處理標準數學(xué)函數。

　　離線(xiàn)測試項目開(kāi)發(fā)和數據分析

　　ACS 4.0測試執行程序和數據分析選件都支持離線(xiàn)安裝功能（即安裝在沒(méi)有連接源測量硬件的PC機上）。對于多個(gè)用戶(hù)或部門(mén)共享同一套ACS硬件的測試環(huán)境，這種架構支持用戶(hù)方便地使用該軟件工具構建測試序列，離線(xiàn)檢查和分析數據，而不必占用測試系統工作站。在用戶(hù)購買(mǎi)數據分析選件時(shí)，將同時(shí)提供額外的license，允許用戶(hù)進(jìn)行多個(gè)離線(xiàn)安裝；ACS測試執行程序不需要額外的license即可離線(xiàn)安裝。

　　靈活的硬件配置

　　ACS 4.0還能夠驅動(dòng)不包含2600系列數字源表，僅僅由4200-SCS半導體特征分析系統（或者兩者兼有）構成的測試系統。利用集成為一個(gè)系統的各個(gè)儀器的獨特功能，可靠性測試工程師可以將高速、每管腳SMU的靈活性（2600系列）與大功率脈沖I-V測試功能（4200-PIV）結合起來(lái)，實(shí)現界面陷阱特征分析和恒溫行為測試，這在最新的柵層疊技術(shù)中是很常用的。一般而言，4200-SCS通常應用于可靠性實(shí)驗室，而2600系列的高速特性對于工藝開(kāi)發(fā)、工藝集成和工藝檢測應用是非常寶貴的。集成2600和4200-SCS兩類(lèi)儀器的ACS系統允許工程師在兩種條件下使用相同的特征分析工具，從而大大簡(jiǎn)化了器件從實(shí)驗室研發(fā)向批量生產(chǎn)的轉變。

　　吉時(shí)利ACS測試系統能夠與WLR測試中常用的各種硬部件協(xié)同工作，包括常見(jiàn)的圓片探測器和探針卡適配器、熱夾盤(pán)控制器、單點(diǎn)和多點(diǎn)探針卡、以及高溫探測選件。