用于多站點(diǎn)并行測試的 ACS集成測試系統（二）

系統架構

最容易想到的多站點(diǎn)測試儀是迷你測 試儀系統。每臺迷你測試儀包含了在一個(gè)站點(diǎn)上運行一系列測試所需的全部資源。 圖3示出了兩臺迷你測試儀組成的系統。每臺迷你測試儀含有幾個(gè)模擬源-測量單 元(SMU)、一個(gè)測試定序儀/控制器，和 一個(gè)開(kāi)關(guān)矩陣選件。獨立控制器能讓每臺 迷你測試儀的操作獨立于其它迷你測試儀 和系統控制器。這樣，系統控制器不用選通測試的運行，而是啟動(dòng)測試序列并整理 產(chǎn)生的測試數據。 吉時(shí)利的ACS集成測試系統通過(guò)吉時(shí) 利2600系列數字源表支持迷你測試儀架 構。通過(guò)使用TSP-LinkTM 可擴展虛擬背板專(zhuān)利技術(shù)和嵌入式腳本處理，可以將幾組 2600系列裝置組成迷你測試儀。 迷你測試儀的分布式本質(zhì)能極大提高 吞吐量。使用真正的并行測試，完全測試 圖2中的4個(gè)FET測試站的耗時(shí)比順序測試儀完成4個(gè)FET第一項測試的用時(shí)短(如圖 4所示)。

圖3. 并行測試系統架構

圖4. 順序測試和并行測試的比較

易于使用

在執行并行測試工程時(shí)，測試工程師要面臨幾項潛在挑戰。 其中包括在全自動(dòng)探測器環(huán)境中建立測試序列并執行測試。吉時(shí)利的自動(dòng)特性分析套件(ACS)軟件(圖5)通過(guò)提供以下內 容的直觀(guān)用戶(hù)界面應對這些挑戰： • 晶圓說(shuō)明 • 測試設置 • 探測器控制 • 自動(dòng)化 • 匯總報告 ACS實(shí)現了晶匣級和晶圓級自動(dòng)化，所以能對全部晶匣的晶 圓進(jìn)行高吞吐量并行測試。ACS還包括實(shí)時(shí)分級裝倉圖和繪制功能(圖6)。

圖5. ACS測試設置用戶(hù)界面的并行測試特性使2600系列的編程就像點(diǎn)、 擊和輸入測試參數那樣簡(jiǎn)單。

圖6. ACS自動(dòng)監控屏實(shí)時(shí)顯示用色碼表示的分級結果。

結論

面市時(shí)間延長(cháng)和測試成本壓力增大意味著(zhù)測試工程師必須用 更少的投入做更多的事。憑借吉時(shí)利久經(jīng)驗證的儀器和測量，ACS 集成測試系統填補了基于交互式實(shí)驗室工具與高吞吐量生產(chǎn)測試 工具之間的空白。 圖1所示的ACS集成測試系統特別適于管芯分選的多站點(diǎn)并行測試、高級可靠性和其它高吞吐量應用。2600系列儀器利用 嵌入式測試腳本處理實(shí)現的分布式測試排序性能具有高速并行測試能力。