硅微型壓力傳感器在工業(yè)及醫療上的應用

　　用微機械加工技術(shù)制造的典型產(chǎn)品是硅微型壓力傳感器，對此美國日本和歐洲均已形成產(chǎn)業(yè)。硅微型壓力傳感器近幾年來(lái)發(fā)展很快，該傳感器主要應用于汽車(chē)工業(yè)和醫療保健領(lǐng)域。

　　硅微型壓力傳感器的特點(diǎn)是體積小，重量輕，沒(méi)有活動(dòng)部件，可靠性高，又能大規模生產(chǎn)該傳感器，所以造價(jià)低。高可靠性，低成本對于汽車(chē)工業(yè)的要求可以說(shuō)是非常適合的，因此在汽車(chē)工業(yè)中迅速擴展了它的應用領(lǐng)域。如自動(dòng)剎車(chē)系統的壓車(chē)面壓力，輪胎壓力，氣囊壓力，傳動(dòng)系統流體壓力，注入系統流體壓力，注入燃料壓力，發(fā)動(dòng)機機油壓力。進(jìn)氣管道壓力都有硅微型壓力傳感器額用武之地。

　　LUCASNOVASENSOR公司甚至采用微機械加工技術(shù)開(kāi)發(fā)了一種能直接埋入輪胎的壓力傳感器。它能在汽車(chē)輪胎壓力很低或輪胎在跑氣時(shí)向司機報警。全世界汽車(chē)每年的生產(chǎn)量高達幾千萬(wàn)輛，因此這是一個(gè)極有前途的市場(chǎng)。

　　硅微型壓力傳感器在醫療保健領(lǐng)域里的最大應用產(chǎn)品是血壓監視器。據稱(chēng)一些大的醫療機械制造上每年要使用近500萬(wàn)只壓力傳感器。此外，如婦女難產(chǎn)時(shí)監控子宮壓力用的硅微型壓力傳感器，靜脈注射監控藥液流動(dòng)的傳感器等都是有相當數量的市場(chǎng)需求。其他許多醫療保健方面的應用也正在不斷開(kāi)發(fā)中。

　　硅微型壓力傳感器基本上分成兩類(lèi)：電容式和壓阻式。電容式的壓力傳感器包括一個(gè)薄膜，它作為可變空氣電容器的一個(gè)極板，當薄膜上承受壓力時(shí)，薄膜產(chǎn)生位移，從而改變電容值，利用這種變化經(jīng)過(guò)相應的電路處理，就可得到壓力值。壓阻式傳感器使用硅材料承受壓力時(shí)會(huì )產(chǎn)生電阻變化的原理制成，一般將4個(gè)硅材料的應變電阻構成惠斯通電橋來(lái)測量壓力。