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激光測量在數控機床定位中的應用

作者： 時(shí)間：2013-06-29 來(lái)源：網(wǎng)絡(luò ) 收藏
雙頻激光干涉儀是當代國際機床標準中規定使用的數控機床精度檢測驗收的測量設備，本文就如何應用雙頻激光干涉儀（以美國惠普公司生產(chǎn)的HP5528A雙頻激光干涉儀為例）檢驗數控也庫的定位精度進(jìn)行了討論。

1．測量隱理

由激光頭激光諧振腔發(fā)出的He一Ne激光束，經(jīng)激光偏轉控制系統分裂為頻率分別為f1和f2的線(xiàn)偏振光束，經(jīng)取樣系統分離出一小部分光束被光電檢測器接收作為參考訊號，其余光束經(jīng)回轉光學(xué)系統放大和準直，被干涉鏡接收反射到光電檢測器上。機床運動(dòng)使干涉鏡和反射鏡之間發(fā)生相對位移，兩束光發(fā)生多普勒效應，產(chǎn)生多普勒頻移±Δf。光電檢測器接收到的頻率訊號（f1-f2±Δf）和參考訊號（f1-f2）被送到測量顯示器，經(jīng)頻率放大、脈沖計數，送人數字總線(xiàn)，最后經(jīng)數據處理系統進(jìn)行處理，得到所測量的位移量，即可評定數控機床的定位精度。

2．測量方法

（1）安裝雙頻激光干涉儀測量系統各組件（如圖1所示）。
（2）在需測量的機床坐標軸線(xiàn)方向安裝光學(xué)測量裝置。典型的安裝如圖2所示：

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關(guān)鍵詞： 激光測量 數控機床 定位

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