沙子變“黃金”! 圖示揭秘CPU制造全過(guò)程
CPU是計算機的心臟,它是決定計算機性能的最重要的部件。同樣CPU也是現代社會(huì )飛速運轉的動(dòng)力源泉,在任何電子設備上都可以找到微芯片的身影。不過(guò)能完成復雜功能的CPU確是以沙子為原料做成的,不得不驚嘆于人類(lèi)的智慧!Intel公布了大量圖文資料,詳細展示了從沙子到芯片的全過(guò)程,滿(mǎn)足你的好奇心。
簡(jiǎn)單地說(shuō),處理器的制造過(guò)程可以大致分為沙子原料(石英)、硅錠、晶圓、光刻(平版印刷)、蝕刻、離子注入、金屬沉積、金屬層、互連、晶圓測試與切割、核心封裝、等級測試、包裝上市等諸多步驟,而且每一步里邊又包含更多細致的過(guò)程。
下邊就圖文結合,一步一步看看:
沙子:硅是地殼內第二豐富的元素,而脫氧后的沙子(尤其是石英)最多包含25%的硅元素,以二氧化硅(SiO2)的形式存在,這也是半導體制造產(chǎn)業(yè)的基礎。
硅熔煉:12英寸/300毫米晶圓級,下同。通過(guò)多步凈化得到可用于半導體制造質(zhì)量的硅,學(xué)名電子級硅(EGS),平均每一百萬(wàn)個(gè)硅原子中最多只有一個(gè)雜質(zhì)原子。此圖展示了是如何通過(guò)硅凈化熔煉得到大晶體的,最后得到的就是硅錠(Ingot)。
單晶硅錠:整體基本呈圓柱形,重約100千克,硅純度99.9999%。
CPU制造:第二階段圖文直播:
硅錠切割:橫向切割成圓形的單個(gè)硅片,也就是我們常說(shuō)的晶圓(Wafer)。順便說(shuō),這下知道為什么晶圓都是圓形的了吧?
晶圓:切割出的晶圓經(jīng)過(guò)拋光后變得幾乎完美無(wú)瑕,表面甚至可以當鏡子。事實(shí)上,Intel自己并不生產(chǎn)這種晶圓,而是從第三方半導體企業(yè)那里直接購買(mǎi)成品,然后利用自己的生產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)一步加工,比如現在主流的45nm HKMG(高K金屬柵極)。值得一提的是,Intel公司創(chuàng )立之初使用的晶圓尺寸只有2英寸/50毫米。
CPU制造:第三階段圖文直播:
光刻膠(Photo Resist):圖中藍色部分就是在晶圓旋轉過(guò)程中澆上去的光刻膠液體,類(lèi)似制作傳統膠片的那種。晶圓旋轉可以讓光刻膠鋪的非常薄、非常平。
光刻一:光刻膠層隨后透過(guò)掩模(Mask)被曝光在紫外線(xiàn)(UV)之下,變得可溶,期間發(fā)生的化學(xué)反應類(lèi)似按下機械相機快門(mén)那一刻膠片的變化。掩模上印著(zhù)預先設計好的電路圖案,紫外線(xiàn)透過(guò)它照在光刻膠層上,就會(huì )形成微處理器的每一層電路圖案。一般來(lái)說(shuō),在晶圓上得到的電路圖案是掩模上圖案的四分之一。
光刻二:由此進(jìn)入50-200納米尺寸的晶體管級別。一塊晶圓上可以切割出數百個(gè)處理器,不過(guò)從這里開(kāi)始把視野縮小到其中一個(gè)上,展示如何制作晶體管等部件。晶體管相當于開(kāi)關(guān),控制著(zhù)電流的方向?,F在的晶體管已經(jīng)如此之小,一個(gè)針頭上就能放下大約3000萬(wàn)個(gè)。
CPU制造:第四階段圖文直播:
溶解光刻膠:光刻過(guò)程中曝光在紫外線(xiàn)下的光刻膠被溶解掉,清除后留下的圖案和掩模上的一致。
蝕刻:使用化學(xué)物質(zhì)溶解掉暴露出來(lái)的晶圓部分,而剩下的光刻膠保護著(zhù)不應該蝕刻的部分。
清除光刻膠:蝕刻完成后,光刻膠的使命宣告完成,全部清除后就可以看到設計好的電路圖案。
CPU制造:第五階段圖文直播:
光刻膠:再次澆上光刻膠(藍色部分),然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻膠還是用來(lái)保護不會(huì )離子注入的那部分材料。
離子注入(Ion Implantation):在真空系統中,用經(jīng)過(guò)加速的、要摻雜的原子的離子照射(注入)固體材料,從而在被注入的區域形成特殊的注入層,并改變這些區域的硅的導電性。經(jīng)過(guò)電場(chǎng)加速后,注入的離子流的速度可以超過(guò)30萬(wàn)千米每小時(shí)。
清除光刻膠:離子注入完成后,光刻膠也被清除,而注入區域(綠色部分)也已摻雜,注入了不同的原子。注意這時(shí)候的綠色和之前已經(jīng)有所不同。
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