晶體硅太陽(yáng)能電池激光邊緣絕緣化處理

　　伴隨著(zhù)晶體硅太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)的穩步發(fā)展，激光一直被認為是提高電池質(zhì)量和降低制造成本的重要工具。激光加工在諸如激光燒蝕電極（LFC）、激光刻槽掩埋柵電極（LGBC）、以及M/EWT等應用增長(cháng)顯著(zhù)，目前在晶體硅太陽(yáng)能電池制造中應用最廣泛的激光工藝之一是激光邊緣絕緣處理。

　　c-Si電池制造過(guò)程中N型離子摻雜/擴散到P型硅基體形成微米級的N型摻雜膜層，這個(gè)膜層包圍了整個(gè)晶圓片，從而造成了電池前后兩面電極的分流，為了避免分流就必須對電池邊緣進(jìn)行絕緣化處理。

　　典型的激光邊緣絕緣化處理是通過(guò)在盡可能靠近太陽(yáng)能電池外緣的周?chē)M(jìn)行刻劃溝槽來(lái)實(shí)現。為了獲得最佳的絕緣效果，溝槽的深度必須大于離子擴散層，典型的溝槽深度為10-20um，寬度為20-40um。盡管Spectra-Physics激光器產(chǎn)品中有眾多型號能勝任絕緣處理工作，但是加工速度最快，質(zhì)量最高的還是最新的調Q全固態(tài)激光器系列，其中首選為Pulseo 355-20。

　　355nm短波長(cháng)，23ns的短脈沖寬度使得Pulseo激光器是太陽(yáng)能電池絕緣化處理的理想選擇。實(shí)驗室測試證明結合高速掃描檢流技術(shù)，Pulseo 355-20在1-2秒內可以絕緣156mm的晶圓片，集成加工設備后，有賴(lài)于良好光學(xué)系統設計（光斑等）絕緣劃片的速度可望達到500-1000mm/sec或者更高。

　　由于短的脈沖寬度，與355nm短波長(cháng)造成的硅片作用深度淺等因素造就了Pulseo紫外激光器的高精度絕緣劃線(xiàn)。作為另外的選擇532nm激光也可用于絕緣劃線(xiàn)，并且同樣保持著(zhù)高速度與高質(zhì)量。

　　對于綠光，我們提供Pulseo 532-34，高功率的調Q激光器。當結合電流掃描儀，既能獲得高速拐彎與最少的燒蝕。120kHz重復頻率下極高的功率和穩定、優(yōu)異的性能使其在很小的聚焦光斑下也能獲得平滑均勻的刻劃線(xiàn)?？傊?，Pulseo 532-34的短脈沖寬度結合高峰值功率和高重復頻率帶來(lái)干凈高效的激光絕緣化劃線(xiàn)效果。

　　太陽(yáng)能電池邊緣絕緣處理推薦產(chǎn)品：Pulseo激光器

　　Pulseo系列激光器延續了Spectra-Physics全固態(tài)調Q激光器高功率、高重復頻率的優(yōu)秀品質(zhì)，擁有高峰值功率、短脈寬與嚴格的制造標準，是高精度加工工業(yè)應用的理想選擇。