基于CAV424的電容式壓力傳感器測量電路設計
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式中：
VM 為參考電壓2 5 V; Ic 為2個(gè)積分器的充電電流， 這里取常數5 A; fOSC為參考振蕩器頻率范圍，其由被測電容的最小值決定。
2 硬件電路及軟件設計
2. 1 系統設計
該系統主要以CAV424檢測芯片和微處理器控制模塊為核心， 另外還有輸出顯示模塊以及電源模塊等。系統框圖如圖2所示。
圖2 系統框圖。
CAV424檢測芯片在系統中主要任務(wù)是將傳感器的差動(dòng)電容信號轉換為可測的電壓信號。差動(dòng)式壓力傳感器的低壓端連接C X1參考電容端，高壓端連接C X2被測電容端， 這樣連接可以保證輸出電壓始終為正。
2. 2 電容檢測電路設計
根據硅電容壓力傳感器核心器件可看成由中心可動(dòng)電極和兩邊的固定電極組成的2個(gè)可變電容， 其敏感電容可以簡(jiǎn)單地認為是平板電容，而平板電容公式為：
并且將C X1參連接到差壓的高壓端， C X2連接到低壓端。由此可得C X1參和C X2表達式：
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