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基于CAV424的電容式壓力傳感器測量電路設計
- 0 引言 硅電容壓力傳感器是利用硅基材料， 應用電容原理， 采用MEMS 工藝制作的一類(lèi)新型壓力傳感器。因其具有穩定性好， 非線(xiàn)性和可靠性?xún)?yōu)越的性能被廣泛用于工業(yè)控制和測量領(lǐng)域。但是差動(dòng)電容式壓力傳感器的輸出差動(dòng)電容信號通常都非常微弱， 因此， 如何將微小電容變化量檢測及轉換為后續電路容易處理的信號至關(guān)重要。目前， 比較常用的檢測調理電路如諧振法、振蕩法、開(kāi)關(guān)電容法、AC 電橋法、運算放大器檢測法等。這些調理電路都是采用分離元件設計而成的， 而文中將采用一款電容專(zhuān)用檢測轉換芯片CAV424作為調
- 關(guān)鍵字： CAV424 壓力傳感器
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