精準識別，智能傳輸，彌費科技AMHS傳感控制設備解決方案

隨著(zhù)先進(jìn)制程技術(shù)的不斷演進(jìn)，高效的自動(dòng)物料搬運系統已成為現代半導體制造的不可或缺的一部分，而半導體制造對生產(chǎn)效率和精度的要求不斷提升，使智能信息化成為AMHS生產(chǎn)過(guò)程安全、高效管理的關(guān)鍵。

作為中國領(lǐng)先的半導體制造AMHS（自動(dòng)化物料搬運系統）整體解決方案提供商，彌費科技聚焦AMHS智能制造，以符合半導體行業(yè)標準的工業(yè)識別產(chǎn)品為信息載體，自主研發(fā)了系列傳感控制設備，為AMHS天車(chē)系統、存儲設備、半導體機臺設備等生產(chǎn)過(guò)程信息化提供一整套應用解決方案。

RFID Reader在12吋晶圓傳送設備Foup Stocker中的通信應用

此次發(fā)布的三款傳感控制設備，均以非接觸式自動(dòng)識別技術(shù)實(shí)現對半導體傳輸物料的精準識別與數據讀取。

RFID Reader系統由標簽、讀寫(xiě)器和天線(xiàn)組成，常用于在半導體制造過(guò)程中對晶圓盒上的射頻標簽進(jìn)行數據讀寫(xiě)操作。機臺設備可以通過(guò)讀寫(xiě)射頻標簽上保存記錄的ID、制造批次、制造過(guò)程說(shuō)明等信息，實(shí)現晶圓生產(chǎn)過(guò)程的追蹤和控制，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。彌費科技自研的RFID Reader 符合SEMI半導體標準，兼容TI公司的CID載體，讀取距離最大可達到90mm。

SmartTag Reader在8吋晶圓傳送設備Pod Stocker中的通信應用

SmartTag Reader則基于紅外技術(shù)實(shí)現對標簽信息的讀取，并通過(guò)紅外信號向操作員和自動(dòng)化物料傳送系統（AMHS）提供過(guò)程和狀態(tài)信息。彌費科技自研的SmartTag Reader符合SEMI半導體標準，使用RS485通信接口，最大工作距離達7cm。

E84傳感器則是基于SEMI E84協(xié)議的工作原理，采用IR技術(shù)實(shí)現生產(chǎn)設備與AMHS之間的高效、可靠晶圓載體自動(dòng)交換。E84 Sensor不僅提高了晶圓在轉移過(guò)程中的安全性和準確性，還通過(guò)增強SEMI E23中定義的并行I/O接口能力，支持了更高水平的傳輸可靠性和效率。

E84在天車(chē)OHT與晶圓傳送設備Foup Stocker中的通信應用

識別控制系統作為AMHS傳輸與通訊的核心零部件設備，產(chǎn)品的自主可控性對與半導體行業(yè)至關(guān)重要。彌費科技基于在半導體AMHS整體解決方案領(lǐng)域的技術(shù)和市場(chǎng)優(yōu)勢，專(zhuān)注于開(kāi)發(fā)能夠提升AMHS生產(chǎn)效率與精度的產(chǎn)品。此次發(fā)布的AMHS識別控制系統設備不僅在關(guān)鍵技術(shù)指標上達到國際先進(jìn)水平，完全自主的知識產(chǎn)權對于客戶(hù)來(lái)說(shuō)，意味著(zhù)更加可靠和穩定的供應鏈保障，有助于降低運營(yíng)成本和風(fēng)險，保障生產(chǎn)的連續性和穩定性，增強市場(chǎng)競爭力。

對于A(yíng)MHS核心零部件領(lǐng)域的深耕，彌費科技不僅能夠更好地滿(mǎn)足客戶(hù)需求，同時(shí)進(jìn)一步優(yōu)化了供應鏈成本和質(zhì)量，提升了AMHS整體解決方案的競爭力，加速其全球化布局。持續的創(chuàng )新和迭代能力也使彌費科技能夠緊跟行業(yè)發(fā)展趨勢，快速響應市場(chǎng)變化，彌費科技致力于成為全球半導體AMHS領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，推動(dòng)半導體制造行業(yè)向更加智能、高效的方向發(fā)展。