泛林集團的濕法清洗優(yōu)化幫助芯片制造商提升設備性能

預防性維護

稱(chēng)之為“濕法”實(shí)為“干法”，這聽(tīng)起來(lái)像謎語(yǔ)，但對于等離子體工藝設備來(lái)說(shuō)，答案就是“濕法清洗”，一種重要的預防性維護方式。

“濕法清洗”一詞源自行業(yè)早期的預防性維護方式，即拆卸反應腔室并將石英部件浸入酸水沖洗，之后再晾干并重新組裝。如今對于需要高精度維護的設備而言，其中唯一涉及“濕”的常用物質(zhì)便是去離子水濕潤過(guò)的無(wú)絨布，不過(guò)“濕法清洗”這個(gè)傳統稱(chēng)謂卻被沿用至今。所以，維護方式被稱(chēng)為“濕法”，但實(shí)際上卻是“干法”。

預防性維護的目標是保持設備的正常運行和盡量減少任何計劃外的停機，因為這種停機一般會(huì )嚴重擾亂生產(chǎn)、會(huì )導致較高的成本以及生產(chǎn)損失。如同一輛汽車(chē)，定期更換發(fā)動(dòng)機油是最大限度延長(cháng)汽車(chē)使用壽命和提升性能的關(guān)鍵。在刻蝕數千片晶圓的過(guò)程中，被去除材料的聚合物會(huì )在等離子體腔室的表面聚集。

我們需要處理這樣的聚集物，一是因為它們可能成為污染源；二是它們有可能改變腔室內的感應或電導，由此影響等離子體的工藝。聚集物的處理主要依賴(lài)成熟的等離子清潔循環(huán)過(guò)程，但某些時(shí)候也需要定期對腔室進(jìn)行預防性維護。

這種預防性維護的步驟數量和精度要求已有大幅提升。在2000年，整個(gè)維護過(guò)程只包含約35個(gè)步驟，如今的步驟數量已經(jīng)超過(guò)150個(gè)，且對精度的要求也高很多。如此繁雜的維護過(guò)程和高精度需求致使維護失敗率通?？筛哌_30%，這不僅意味著(zhù)生產(chǎn)損失，還會(huì )造成備件和測試晶圓的損耗，以及由此帶來(lái)的成本大幅提升。

濕法清洗優(yōu)化

為解決上述問(wèn)題，泛林推出了名為“濕法清洗優(yōu)化”(WCO)的服務(wù)，用于消除人為差異和提高預防性維護的成功率。如今WCO已經(jīng)在全球被應用于大量的刻蝕和沉積腔室，幫助多個(gè)客戶(hù)解決問(wèn)題，例如提升產(chǎn)量以及大幅減少支出浪費等。

作為整體解決方案，WCO涵蓋了專(zhuān)業(yè)設備、本地化多媒體分步說(shuō)明、數據分析和專(zhuān)家支持（診斷維護問(wèn)題和推動(dòng)持續改進(jìn)）。

專(zhuān)業(yè)設備

使用合適的設備可大幅提升生產(chǎn)力和效率并保護人員安全。WCO服務(wù)包可確?？蛻?hù)能隨時(shí)隨地獲得所需要的標準和定制設備。

多媒體分步操作說(shuō)明

預防性維護團隊往往面臨的一大挑戰就是維護人員的更換（18個(gè)月的流動(dòng)率可高達 100%），在這種情況下，分步驟程序說(shuō)明和方便參照的操作文件就顯得非常重要。

數據分析

這是WCO的一個(gè)關(guān)鍵組成部分，作用是將濕法清洗數據轉化為可以使用的信息。推動(dòng)持續改進(jìn)的一大關(guān)鍵就在于通過(guò)高質(zhì)量分析確定最需要改進(jìn)的領(lǐng)域，并且測量和量化這些改進(jìn)方法。

專(zhuān)家支持

由專(zhuān)業(yè)工程師推動(dòng)問(wèn)責、調查問(wèn)題并推動(dòng)系統性改進(jìn)。

應用場(chǎng)景

我們將通過(guò)以下應用場(chǎng)景的介紹幫助大家更好地了解WCO的作用。

芯片制造商 A 在使用濕法清洗其等離子刻蝕設備時(shí)遇到性能表現無(wú)法預測的問(wèn)題，且已經(jīng)影響到設備的可用性。晶圓廠(chǎng)經(jīng)理明白問(wèn)題的原因是員工流動(dòng)率高，但他無(wú)法通過(guò)內部培訓或其他行動(dòng)來(lái)改善當前的情況。在引入泛林的WCO之后，本地化分步操作視頻可以幫助新員工快速了解情況，很快就實(shí)現了濕法清洗穩定的高性能表現。濕法清洗的耗時(shí)和設備的計劃外停機有所減少，設備的正常運行時(shí)間和良率也因此得到改善。

芯片制造商 B 正在使用一個(gè)新類(lèi)型的腔室進(jìn)行良率爬坡并希望盡快實(shí)現高生產(chǎn)率。通過(guò)引入WCO提供的最佳方式，B的工作人員很快就掌握了操作要領(lǐng)，維護時(shí)間的差異降低，新的腔室快速實(shí)現了持續穩定的正常運行。

總結

WCO是一項能幫助客戶(hù)自行成功完成預防性維護的方法。該整體方案融合了泛林的專(zhuān)有軟件、數據分析和經(jīng)過(guò)認證的清潔程序（含視頻指導）。另外，WCO也是泛林集團Equipment Intelligence?的一部分， 后者是泛林基于其設備經(jīng)驗和數據打造的綜合性生產(chǎn)力解決方案。