KLA發(fā)布全新汽車(chē)產(chǎn)品組合以提高芯片良率及可靠性

近日，KLA公司宣布發(fā)布四款用于汽車(chē)芯片制造的新產(chǎn)品：8935高產(chǎn)能圖案晶圓檢測系統、C205寬波段等離子圖案晶圓檢測系統、Surfscan^? SP A2/A3無(wú)圖案晶圓檢測系統和I-PAT^?在線(xiàn)缺陷部件平均測試篩選解決方案。汽車(chē)行業(yè)在密切關(guān)注電氣化、互聯(lián)性、高級駕駛輔助和自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域的創(chuàng )新。這意味著(zhù)汽車(chē)需要更多的電子設備，從而推動(dòng)了對半導體芯片的需求。由于芯片在車(chē)輛駕駛和安全應用中的核心地位，其可靠性至關(guān)重要，因此汽車(chē)芯片必須符合嚴格的質(zhì)量標準。

“今天的車(chē)輛包含數以千計的半導體芯片，用于感知周?chē)h(huán)境、做出駕駛決策和實(shí)施控制?！盞LA半導體工藝控制業(yè)務(wù)部總裁Ahmad Khan表示，“這些芯片不能發(fā)生故障——這一事實(shí)導致芯片制造商在芯片集成到車(chē)輛上之前就尋求新的策略，以發(fā)現和減少與可靠性相關(guān)的缺陷。我們的新產(chǎn)品專(zhuān)為生產(chǎn)汽車(chē)芯片的晶圓廠(chǎng)量身定制，在芯片制造的源頭偵測可能影響可靠性的缺陷，并為在線(xiàn)篩選提供創(chuàng )新的解決方案。這些努力將協(xié)助晶圓廠(chǎng)以高良率制造質(zhì)量?jì)?yōu)良且高度可靠的芯片，同時(shí)最大限度地提高產(chǎn)能?！?/p>

KLA 的全新Surfscan^? SP A2/A3、8935 和 C205 檢測系統以及創(chuàng )新的 I-PAT^? 在線(xiàn)篩選解決方案提高了汽車(chē)芯片的良率和可靠性

這三臺新檢測設備構成了一個(gè)互補的缺陷發(fā)現、監控和控制的解決方案，適用于汽車(chē)行業(yè)中較大設計節點(diǎn)的芯片制造。Surfscan SP A2/A3無(wú)圖案晶圓檢測儀結合了DUV光學(xué)系統和先進(jìn)算法，讓系統的靈敏度和速度足以在汽車(chē)芯片上識別并消除可能產(chǎn)生可靠性問(wèn)題的工藝缺陷，也確保工藝設備以最佳的性能運行。對于研發(fā)和批量生產(chǎn)，C205圖案晶圓檢測儀采用了寬波段光譜和 NanoPoint?技術(shù)，因而使其對于關(guān)鍵缺陷高度靈敏，有助于加快新工藝和器件的優(yōu)化。對于批量制造，8935圖案晶圓檢測儀采用新的光學(xué)技術(shù)和DefectWise^? AI解決方案，能夠以低噪比率捕獲各種關(guān)鍵缺陷，并快速準確地識別可能影響芯片最終質(zhì)量的工藝偏差。

I-PAT是一個(gè)運行于KLA檢測和數據分析系統中的創(chuàng )新在線(xiàn)篩選解決方案。I-PAT首先從包括8935或Puma? 激光掃描檢測儀等在內的高速8系列檢測儀在關(guān)鍵工藝步驟中采集的所有晶圓數據中提取缺陷特征。然后，I-PAT利用SPOT?量產(chǎn)平臺上的定制機器學(xué)習算法和Klarity?缺陷管理系統的統計分析功能來(lái)辨別異常的缺陷，從而可以從供應鏈中剔除有風(fēng)險的芯片。

除了開(kāi)發(fā)為汽車(chē)芯片制造定制的新產(chǎn)品，KLA繼續與汽車(chē)行業(yè)密切合作。從KLA加入為汽車(chē)行業(yè)的電子元件制定認證標準的汽車(chē)電子委員會(huì )(AEC)的成員，到公司在密歇根州安娜堡的第二總部，KLA致力于確保汽車(chē)行業(yè)實(shí)現嚴格的電子質(zhì)量標準。

“我們今天發(fā)布的新產(chǎn)品擴充了我們全方位的檢測、量測、數據分析和工藝系統組合，為汽車(chē)電子生態(tài)系統提供多方位的支持?！盞LA的電子、封裝和組件(EPC)業(yè)務(wù)部執行副總裁Oreste Donzella補充說(shuō)，“這些產(chǎn)品中的每一種都發(fā)揮著(zhù)關(guān)鍵作用，確保了構成汽車(chē)電子產(chǎn)品的芯片、組件、印刷電路板和顯示器等都具有優(yōu)異的良率、可靠性和性能?！?/p>

有關(guān)8935、C205、Surfscan SP A2/A3和I-PAT的更多詳細資料，包括主要功能、應用和汽車(chē)以外的市場(chǎng)，請參閱產(chǎn)品簡(jiǎn)介（product fact sheets）。為了保持這些系統的高性能和高產(chǎn)能，KLA全球綜合服務(wù)網(wǎng)絡(luò )對其提供技術(shù)支持。