佳能發(fā)售面向后道工序的半導體光刻機“FPA-5520iV LF Option”，實(shí)現可對應先進(jìn)封裝大型化的大視場(chǎng)曝光

佳能¹將在2021年4月上旬發(fā)售面向后道工序的半導體光刻機新產(chǎn)品——i線(xiàn)步進(jìn)式光刻機² “FPA-5520iV LF Option”。該產(chǎn)品實(shí)現了面向先進(jìn)封裝³的52×68mm大視場(chǎng)曝光，解析度達1.5μm    （微米⁴）。

為了提高半導體芯片的性能，不僅在半導體制造的前道工序中實(shí)現電路的微細化十分重要，在后道工序中的高密度封裝也備受矚目。為實(shí)現高性能的先進(jìn)封裝，需要精細的重布線(xiàn)⁵，近年來(lái)已經(jīng)開(kāi)始使用半導體光刻機進(jìn)行重布線(xiàn)工藝。新產(chǎn)品繼承了可應對先進(jìn)封裝的舊機型“FPA-5520iV”（2016年7月發(fā)售）的基本性能，同時(shí)實(shí)現了大視場(chǎng)下電路圖形的曝光，可滿(mǎn)足異構封裝6等多種先進(jìn)封裝技術(shù)的需求。

FPA-5520iV     LF Option

■   通過(guò)搭載新投影光學(xué)系統實(shí)現大視場(chǎng)的一次曝光

通過(guò)搭載新投影光學(xué)系統，新產(chǎn)品可以一次曝光52×68mm的大視場(chǎng)，達到了前道工序中光刻機標準視場(chǎng)26×33mm的4倍以上。通過(guò)大視場(chǎng)曝光，實(shí)現了連接多個(gè)大型半導體芯片的異構封裝。此外，該產(chǎn)品具有1.5μm的高解析度，可以曝光出精細的重布線(xiàn)圖案，從而可應對多種先進(jìn)封裝工藝。另外，在使用高解析度選項的情況下，可以實(shí)現以1.0μm的高解析度曝光重布線(xiàn)圖案。

■   繼承“FPA-5520iV”的基本性能

新產(chǎn)品繼承了“FPA-5520iV”受到廣泛好評的基本性能。通過(guò)這些共通的基本性能，可以實(shí)現封裝工藝量產(chǎn)課題中的再構成基板7變形問(wèn)題的靈活應對，還可以在芯片排列偏差較大的再構成基板上檢測出對準標記，從而提高生產(chǎn)效率，實(shí)現高生產(chǎn)性等優(yōu)勢。

1   為方便讀者理解，本文中佳能可指代：佳能（中國）有限公司，佳能股份有限公司，佳能品牌等

2   使用了i線(xiàn)（水銀燈波長(cháng) 365nm）光源的半導體曝光裝置。1nm（納米）是10億分之1米。

3   保護精密的半導體芯片不受外部環(huán)境的影響，并在安裝時(shí)實(shí)現與外部的電氣連接。

4   1μm（微米）是100萬(wàn)分之1米（＝1000分之1mm）。

5   連接在半導體芯片之間或半導體芯片和凸塊（突出的連接電極）之間的布線(xiàn)。

6   封裝將不同類(lèi)型的芯片組合在一起，例如CPU和DRAM、CPU和GPU。通過(guò)將不同芯片彼此靠近放置并將其許多電路連接并集成在一起，以提高處理能力。

7    從半導體光刻機前道工序中制造出的晶圓中取出多個(gè)單個(gè)半導體芯片并排列，用樹(shù)脂固定成晶圓形狀的基板。

參考信息：

＜什么是半導體制造的后道工序＞

在半導體芯片的制造工藝中，半導體光刻機負責“曝光”電路圖案。在曝光的一系列工序中，在硅晶圓上制造出半導體芯片的工序稱(chēng)為前道工序。另一方面，保護精密的半導體芯片不受外部環(huán)境的影響，并在安裝時(shí)實(shí)現與外部的電氣連接的封裝工序稱(chēng)為后道工序。

＜關(guān)于半導體光刻機網(wǎng)站＞

我們發(fā)布了“佳能光刻機50周年紀念網(wǎng)站”，通過(guò)圖片和視頻等易于理解的方式說(shuō)明“光刻機”的原理和性能。此外，我們還面向青少年專(zhuān)門(mén)開(kāi)設了一個(gè)頁(yè)面，幫助他們理解曝光的原理。

＜半導體光刻機的市場(chǎng)動(dòng)向＞

近年來(lái)，隨著(zhù)物聯(lián)網(wǎng)的飛速發(fā)展，以及受新冠疫情影響使遠程辦公和在線(xiàn)活動(dòng)持續增加，市場(chǎng)對各種半導體器件的需求也在提升。在這種情況下，除芯片精細化以外，封裝的高密度布線(xiàn)也被認為是實(shí)現高性能的技術(shù)之一?？梢灶A見(jiàn)，隨著(zhù)對更高性能半導體器件的先進(jìn)封裝需求的增加，后道工序中的半導體光刻機市場(chǎng)將繼續擴大。（佳能調研）

＜主要產(chǎn)品規格＞

有關(guān)產(chǎn)品規格的詳細信息，請參考公司主頁(yè)。

＜一般咨詢(xún)＞

佳能光學(xué)設備(上海)有限公司 營(yíng)業(yè)2部 021-23163236直線(xiàn)