Picarro宣布用于半導體晶圓廠(chǎng)的氣體分子污染監測系統

Picarro宣布推出經(jīng)我們完全優(yōu)化的AMC監控系統——Picarro SAM(取樣Sample、分析Analyze和監測Monitor)。該系統由Picarro在業(yè)界領(lǐng)先的基于CRDS的傳感器組成,該傳感器已集成到最新的采樣系統中。SAM單元可提供高通量采樣,而不會(huì )影響傳感器的性能。 

新的Picarro SAM系統是從組件產(chǎn)品到系統解決方案的重大轉變。一站式的設計、制造和測試系統的好處包括:

?針對Picarro硬件和軟件設計且完全集成的系統——無(wú)集成兼容性問(wèn)題 

?Picarro SAM系統進(jìn)行過(guò)精心優(yōu)化——系統性能符合Picarro Semi系統規格

新發(fā)明的、正在申請專(zhuān)利的氣體輸送歧管促成了SAM的顯著(zhù)性能優(yōu)勢,使其在很短的時(shí)間內達到萬(wàn)億分之幾(ppt)的檢測靈敏度,并能快速將SAM系統恢復到基線(xiàn)靈敏度水平。這使得SAM成為在線(xiàn)實(shí)時(shí)AMC監視系統的理想選擇。該系統帶有易于使用的圖形用戶(hù)界面,可進(jìn)行各種圖表和趨勢分析。

SAM可以配置為從8個(gè)或16個(gè)端口采樣,并且目前可用于檢測氨、氟化氫和鹽酸,這三個(gè)關(guān)鍵AMC會(huì )影響半導體晶圓的產(chǎn)量。展望未來(lái),我們將根據Picarro的半導體產(chǎn)品路線(xiàn)圖為其它氣體提供SAM系統。

SAM系統路線(xiàn)圖還將支持復雜的AMC分析,以幫助客戶(hù)更準確地快速識別AMC事件的位置,從而允許采取更快的糾正措施,以提高與AMC相關(guān)的晶圓產(chǎn)量。