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Picarro宣布用于半導體晶圓廠(chǎng)的氣體分子污染監測系統
- Picarro宣布推出經(jīng)我們完全優(yōu)化的AMC監控系統——Picarro SAM(取樣Sample、分析Analyze和監測Monitor)。該系統由Picarro在業(yè)界領(lǐng)先的基于CRDS的傳感器組成,該傳感器已集成到最新的采樣系統中。SAM單元可提供高通量采樣,而不會(huì )影響傳感器的性能。?新的Picarro SAM系統是從組件產(chǎn)品到系統解決方案的重大轉變。一站式的設計、制造和測試系統的好處包括:?針對Picarro硬件和軟件設計且完全集成的系統——無(wú)集成兼容性問(wèn)題??Picarro SA
- 關(guān)鍵字： Picarro 半導體晶圓
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