國產(chǎn)14nm傳喜訊 中芯國際購買(mǎi)的ASML光刻機順利入廠(chǎng)

作為國內最大最先進(jìn)的晶圓代工廠(chǎng),中芯國際SMIC在疫情疫情期間依然沒(méi)有停產(chǎn),同時(shí)還在擴大14nm等先進(jìn)工藝產(chǎn)能。日前羊城晚報報道稱(chēng),中芯國際進(jìn)口的荷蘭ASML光刻機順利入廠(chǎng)。

據報道,這次購買(mǎi)光刻機的是中芯國際集成電路制造(深圳)有限公司,昨天他們從荷蘭進(jìn)口的一臺大型光刻機順利通過(guò)出口加工區場(chǎng)站兩道閘口進(jìn)入廠(chǎng)區。

據悉,這臺機器主要用于企業(yè)復工復產(chǎn)后的生產(chǎn)線(xiàn)擴容。

中芯國際表示,坪山海關(guān)一系列服務(wù)措施,保障了設備第一時(shí)間進(jìn)入廠(chǎng)區完成安裝進(jìn)入生產(chǎn),生產(chǎn)線(xiàn)擴容后全年預計可為企業(yè)增加10%左右的營(yíng)收。

報道沒(méi)有提及中芯國際購買(mǎi)的光刻機的詳情,不過(guò)肯定可以排除最新的EUV光刻機,現在進(jìn)口的應該還是193nm波長(cháng)的DUV系列光刻機。

ASML的DUV光刻機型號

雖然沒(méi)有EUV技術(shù),但ASML的沉浸式DUV光刻機依然可以制造28nm到7nm之間的各種芯片,中芯國際此前也表態(tài)下兩代工藝N+1、N+2(相當于7nm LPE低功耗、7nm LPP高性能)也不會(huì )上EUV光刻機。

與EUV光刻機動(dòng)輒1億美元以上的售價(jià)相比,DUV光刻機要便宜很多,但也要3000-5000萬(wàn)美元,還要有數目不菲的安裝服務(wù)費用,足以讓很多小公司望而卻步。

中芯國際沒(méi)有公布擴產(chǎn)的工藝具體是什么,但99%可能是14nm工藝,這是2020年中芯國際重點(diǎn)中的重點(diǎn),去年底產(chǎn)能不過(guò)1000片/月,今年3月將達到4K,7月達到9K,12月達到15K。

根據中芯國際聯(lián)席CEO梁孟松的說(shuō)法,1000片/月的產(chǎn)能就差不多要1億美元的投入,15K晶圓/月的產(chǎn)能意味著(zhù)15億美元的投資。

放在以前,這樣的投資是不劃算的,不過(guò)現在這兩年情況不同了,中芯國際的14nm及未來(lái)的7nm工藝無(wú)論如何都是要上的。