Veeco獲針對SGL初步禁令，中微半導體將受影響

　　11月2日，有機金屬化學(xué)汽相沉積系統(MOCVD)設備大廠(chǎng)美國維易科(Veeco)宣布，美國紐約東區地方法院同意了Veeco公司針對SGL Carbon，LLC(SGL)的一項初步禁令請求，該公司是中微半導體設備有限公司(AMEC)的晶圓承載器供應商。據統計，目前國內前三大LED芯片廠(chǎng)商今年采購的機臺里，Veeco和中微半導體各占一半。業(yè)內人士評論稱(chēng)，此次禁令可能會(huì )讓中微損失不少。

　　該禁令禁止SGL出售供采用了Veeco專(zhuān)利技術(shù)的無(wú)基座金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(MOCVD)使用的晶圓承載器，包括專(zhuān)為AMEC MOCVD系統設計的晶圓承載器。

　　Veeco公司董事長(cháng)兼首席執行官John R. Peeler說(shuō)：“這項裁決肯定了Veeco知識產(chǎn)權及其全球專(zhuān)利組合的實(shí)力。Veeco狠抓知識產(chǎn)權工作，并堅決維護其在研發(fā)方面的重大投資，包括其在美國，歐洲和亞洲的專(zhuān)利，特別是在中國。”

　　上述裁決立即生效，禁止SGL在未得到Veeco明確授權的情況下出貨采用了Veeco專(zhuān)利技術(shù)的晶圓承載器。這也意味著(zhù)禁止SGL提供用于所有AMEC MOCVD系統的晶圓承載器。

　　法院還裁定，盡管SGL有相反的論點(diǎn)，Veeco公司有關(guān)“無(wú)基座MOCVD反應堆使用的Veeco晶圓載體專(zhuān)利受到SGL的侵犯且該專(zhuān)利有效”的聲稱(chēng)得到認同的可能性很大。SGL曾經(jīng)辯稱(chēng)，其晶圓承載器是基于A(yíng)MEC的規格。這項裁決顯示，AMEC不尊重Veeco的知識產(chǎn)權。

　　在專(zhuān)利案件中，初步禁令是很罕見(jiàn)的，因為在陪審團對專(zhuān)利侵權作出判決之前頒布禁售令有非常嚴格的法律要求。因此，這一裁決顯示了SGL和AMEC侵犯Veeco知識產(chǎn)權的明確性質(zhì)。

　　Veeco于2017年4月12日在紐約東區的聯(lián)邦法院對SGL Carbon，LLC和SGL Carbon SE展開(kāi)了專(zhuān)利侵權訴訟。SGL生產(chǎn)用于無(wú)基座MOCVD系統的晶圓承載器。除了臨時(shí)禁令之外，Veeco正在尋求永久性禁令以及經(jīng)濟賠償等。

　　此外， Veeco公司11月1日宣布和ALLOS Semiconductors(ALLOS)達成了一項戰略舉措，展示了200mm硅基氮化鎵晶圓用于藍/綠光micro-LED 的生產(chǎn)。維易科和ALLOS合作將其專(zhuān)有外延技術(shù)轉移到 Propel單晶圓MOCVD系統，從而在現有的硅生產(chǎn)線(xiàn)上實(shí)現生產(chǎn)micro-LED。

　　“使用Propel反應腔，我們就擁有了一項MOCVD技術(shù)，這項技術(shù)能夠實(shí)現高產(chǎn)量的GaN外延，滿(mǎn)足在200毫米硅生產(chǎn)線(xiàn)上生產(chǎn)micro-LED器件的所有要求，” ALLOS Semiconductor的首席執行官Burkhard Slischka 這樣說(shuō)。

　　“不到一個(gè)月時(shí)間我們就已經(jīng)在Propel上對我們的技術(shù)進(jìn)行了驗證，并且獲得了無(wú)裂紋、無(wú)回熔的晶圓，翹曲度低于30微米，晶體質(zhì)量高，厚度均勻性?xún)?yōu)異，波長(cháng)均勻性小于1納米。同Veeco攜手，ALLOS期待著(zhù)將該技術(shù)在micro-LED產(chǎn)業(yè)中更為推廣。”

　　Micro-LED顯示技術(shù)由<30x30平方微米的紅、綠和藍(RGB)無(wú)機LED組成，這些LED被轉化為顯示屏背板，以形成亞像素。與有機LED(OLED)和液晶顯示(LCD)相比，這些高效的LED直接發(fā)射功耗更低，卻可以為移動(dòng)顯示器、電視和可穿戴式計算機提供優(yōu)異的亮度和對比度。Micro-LED 的制造要求優(yōu)質(zhì)、均勻的外延晶圓，以滿(mǎn)足顯示屏的產(chǎn)量和成本控制的要求。

　　“和競爭對手的MOCVD平臺相比， Veeco的TurboDisc技術(shù)提供的制程窗口更大，因此Propel能提一流的均勻性同時(shí)還能獲得優(yōu)良的膜品質(zhì)，”維易科高級副總裁兼MOCVD運營(yíng)總經(jīng)理Peo Hansson博士這樣說(shuō)。

　　“將Veeco領(lǐng)先的MOCVD專(zhuān)業(yè)技術(shù)和 ALLOS的硅基氮化鎵外延晶片技術(shù)相結合，使我們客戶(hù)能夠開(kāi)發(fā)出低成本的micro-LED，以便于在新的市場(chǎng)中開(kāi)拓新的應用。”