完善產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)布局，國內首條8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線(xiàn)正式運營(yíng)

　　9月10日，在亞洲最高規格的傳感器與物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)盛會(huì )——2017中國(上海)國際傳感器技術(shù)與應用展覽會(huì )(簡(jiǎn)稱(chēng)“SENSOR CHINA”)的開(kāi)幕式暨2017全球傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)峰會(huì )上，多位院士及眾多業(yè)界領(lǐng)袖濟濟一堂，中國科協(xié)副主席、中國科學(xué)院院士王曦，工信部原副部長(cháng)楊學(xué)山，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金總經(jīng)理、中國高端芯片聯(lián)盟理事長(cháng)丁文武，工信部電子司副司長(cháng)吳勝武，上?？茖W(xué)技術(shù)委員會(huì )主任壽子琪，上海市嘉定區委書(shū)記馬春雷共同啟動(dòng)上海微技術(shù) 工業(yè)研究院“超越摩爾”研發(fā)中試線(xiàn)運營(yíng)。自此，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“工研院”)構建的國內首條，全球領(lǐng)先，兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線(xiàn)正式向業(yè)界發(fā)聲，在打造中國完整的“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈基礎上，旨在進(jìn)一步推動(dòng)中國“超越摩爾”技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng )新應用快速發(fā)展，引領(lǐng)全球。

　　圖1. 工研院“超越摩爾” 8英寸研發(fā)中試線(xiàn)剪彩儀式

　　完善國內超越摩爾產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈布局， 8英寸研發(fā)中試線(xiàn)助攻創(chuàng )新研發(fā)

　　當前，以移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)、云計算、大數據、人工智能等為代表的信息技術(shù)正加速創(chuàng )新、融合和普及應用，一個(gè)萬(wàn)物互聯(lián)智能化時(shí)代正在到來(lái)。其中，超越摩爾技術(shù)以傳感器為核心，結合射頻、功率、微能源等技術(shù)，是未來(lái)實(shí)現萬(wàn)物互聯(lián)的基礎性、決定性核心技術(shù)之一。

　　事實(shí)上，傳感器的市場(chǎng)應用已呈現爆發(fā)式增長(cháng)態(tài)勢，產(chǎn)品種類(lèi)豐富，多達上千， 此前美國舉行的MEMS Bryzek預測MEMS芯片市場(chǎng)將在2023年達到1兆片(trillion)的市場(chǎng)規模，同時(shí)，中國智能傳感器市場(chǎng)也預計將于2019年達到960億元。

　　然而，縱觀(guān)我國超越摩爾領(lǐng)域現狀，雖經(jīng)歷多年的理論研究與技術(shù)驗證，積累了大量寶貴的知識和經(jīng)驗，但在真正放進(jìn)產(chǎn)品進(jìn)行實(shí)際應用時(shí)往往存在與生產(chǎn)平臺脫節的情況。這都是源于MEMS產(chǎn)品的研發(fā)所涉及的技術(shù)鏈條較長(cháng)，且其“非標”特性使得它的研發(fā)與創(chuàng )新需要和產(chǎn)線(xiàn)有一段比較長(cháng)的磨合期，不同于CMOS的標準工藝，可以說(shuō)對產(chǎn)線(xiàn)“嚴重依賴(lài)”。而中試就是必經(jīng)階段，是目前國內傳感器廠(chǎng)家共同面臨的挑戰，據統計，科技成果經(jīng)過(guò)中試，產(chǎn)業(yè)化成功率可達80%，未經(jīng)中試成功率僅有30%?；诖吮尘?，工研院立足擁有國內一流集成電路研發(fā)和產(chǎn)業(yè)基礎的上海，志在實(shí)施超越摩爾計劃，爭取在這一領(lǐng)域與國際領(lǐng)先水平并行。

　　落地上海嘉定工業(yè)區，近5,000平方米的高等級微納加工超凈廠(chǎng)房?jì)?，工研院與國際領(lǐng)先的晶圓廠(chǎng)密切合作構建的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線(xiàn)，不僅實(shí)現了從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接，更豐富完整了國內的超越摩爾生態(tài)鏈，是對標國際產(chǎn)業(yè)競爭的關(guān)鍵一環(huán)。

　　圖2. SITRI 8英寸研發(fā)中試線(xiàn)工藝能力布局圖

　　目前，在“超越摩爾”領(lǐng)域，相比于業(yè)界普遍使用的6英寸產(chǎn)線(xiàn)，貫通從研發(fā)到量產(chǎn)全程服務(wù)的SITRI 8英寸線(xiàn)是公認的領(lǐng)先技術(shù)。據悉，8英寸研發(fā)中試線(xiàn)將專(zhuān)注于“超越摩爾”傳感器產(chǎn)品技術(shù)的開(kāi)發(fā)，可以全面開(kāi)展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統的研發(fā)，并根據“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點(diǎn)部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測設備。作為國內第一條先進(jìn)8英寸研發(fā)中試線(xiàn)，SITRI的8英寸研發(fā)中試線(xiàn)不僅可承擔產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓、設備驗證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率，更將助力實(shí)現 “超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接。

　　工研院一體化功能平臺將加速“超越摩爾”領(lǐng)域的創(chuàng )新和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程

　　圖3. SITRI致力于打造“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新生態(tài)

　　以全球領(lǐng)先的“超越摩爾”8英寸研發(fā)中試線(xiàn)為支點(diǎn)，工研院試圖打造集研發(fā)、工程、市場(chǎng)、孵化的一體化功能平臺，為創(chuàng )新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務(wù)和解決方案：

　　 在研發(fā)創(chuàng )新環(huán)節：工研院建立了全國首個(gè)成熟、完善的MEMS-IC軟件設計平臺、開(kāi)發(fā)MEMS-ICIP核庫;近5,000平方米的先進(jìn)“超越摩爾”研發(fā)8英寸研發(fā)中試線(xiàn)更將專(zhuān)注于新工藝、新材料及新器件的開(kāi)發(fā)與整合;同時(shí)提供集成電路設計、系統集成及以及完整物聯(lián)網(wǎng)系統解決設計方案;

　　 在中試制造環(huán)節：工研院建立全球領(lǐng)先8英寸MtM研發(fā)中試線(xiàn)、世界先進(jìn)的工程測試分析平臺、MEMS/ASIC的晶圓測試、封裝測試等測試能力;提供完整的專(zhuān)利及器件分析、研究服務(wù)，并提供知識產(chǎn)權許可、保護及談判方面的專(zhuān)家級指導;

　　 在產(chǎn)業(yè)整合領(lǐng)域：工研院將進(jìn)一步推動(dòng)例如汽車(chē)電子、智慧醫療、智能安防、智能家居、智能消費類(lèi)產(chǎn)品等細分物聯(lián)網(wǎng)市場(chǎng)與傳感產(chǎn)業(yè)進(jìn)行垂直產(chǎn)業(yè)鏈與橫向服務(wù)市場(chǎng)的整合，推進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展;發(fā)起并參與例如中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng )新聯(lián)盟等產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，更將推動(dòng) “超越摩爾”及物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵標準方面制定，并通過(guò)SENSOR CHINA等展會(huì )與系列活動(dòng)提供全球范圍的市場(chǎng)支持;

　　 構建全球創(chuàng )新網(wǎng)絡(luò )：工研院在美國硅谷、法國格勒諾布爾、臺灣新竹等地建立分支機構，在全球范圍內布局創(chuàng )新網(wǎng)絡(luò );

　　 投資基金與孵化加速器：由工研院、國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金以及其他戰略投資人共同發(fā)起成立規模為50億元的“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)基金，為創(chuàng )新企業(yè)提供關(guān)鍵的早期支持;并配套全球化創(chuàng )新網(wǎng)絡(luò )提供軟硬件結合的孵化服務(wù)。

　　總之，以8英寸線(xiàn)強勁的技術(shù)支持為依托，以投資基金和孵化加速器為支撐，工研院致力于“超越摩爾”領(lǐng)域和物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)初創(chuàng )團隊的投資與孵化，讓產(chǎn)業(yè)資源和資金優(yōu)化配置，加快技術(shù)研發(fā)和企業(yè)孵化，在全球范圍內布局創(chuàng )新網(wǎng)絡(luò )，真正營(yíng)造“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新生態(tài)。