北京亦莊：集成電路國產(chǎn)設備走向“前臺”

　　截至今年11月，中芯國際北京廠(chǎng)使用國產(chǎn)設備加工的12英寸正式產(chǎn)品晶圓加工突破1000萬(wàn)片次。這標志著(zhù)國產(chǎn)設備技術(shù)和市場(chǎng)競爭力邁上了一個(gè)新臺階，也意味著(zhù)在以精密、嚴苛著(zhù)稱(chēng)的集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域，國產(chǎn)設備正通過(guò)進(jìn)口替代，穩步走向“前臺”。

　　12英寸集成電路國產(chǎn)設備是實(shí)現我國集成電路芯片自主制造的基礎，設備要求高，系統復雜，相當長(cháng)時(shí)間內，主要由美日德等設備供應商供應。2008年，國家科技重大專(zhuān)項02專(zhuān)項組織“產(chǎn)學(xué)研”聯(lián)合開(kāi)發(fā)，把目標直接定在世界上最先進(jìn)的40納米和28納米技術(shù)節點(diǎn)，并由行業(yè)的龍頭企業(yè)牽頭。

　　2015年，中芯國際北京廠(chǎng)新增包括干法刻蝕機、物理氣相沉積設備、單片退火爐設備等在內的國產(chǎn)設備主機臺及附屬機臺數百臺。這些國產(chǎn)設備出色地通過(guò)了28納米至90納米技術(shù)節點(diǎn)的大生產(chǎn)線(xiàn)驗證，與進(jìn)口設備同臺競技。

　　國產(chǎn)設備進(jìn)入集成電路生產(chǎn)線(xiàn)難在哪?“以往的探索式研究只需要單點(diǎn)突破，100次嘗試有一次成功就可以宣告成功了?，F在要提供大生產(chǎn)技術(shù)，必須100次都成功，而且成功的結果還必須完全一樣，發(fā)散一點(diǎn)兒都不行?！敝行颈狈礁笨偨?jīng)理張昕告訴記者，在高風(fēng)險、高投入的集成電路產(chǎn)業(yè)，裝備的設計也要改變在實(shí)驗室里閉門(mén)造車(chē)的習慣，要預先知道生產(chǎn)的具體要求，隨時(shí)改進(jìn)，共同開(kāi)發(fā)。

　　值得注意的是，目前中芯國際北京廠(chǎng)使用的國產(chǎn)設備中，有相當一部分產(chǎn)自其所在的北京經(jīng)濟技術(shù)開(kāi)發(fā)區。與中芯國際北京廠(chǎng)“比鄰”的北方華創(chuàng )，已成功開(kāi)發(fā)了以刻蝕設備、化學(xué)氣相沉積設備、物理氣相沉積設備三大類(lèi)半導體裝備產(chǎn)品為基礎的20余類(lèi)產(chǎn)品，成功替代國外廠(chǎng)商同類(lèi)產(chǎn)品。

　　“區域的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈布局為實(shí)現芯片制造設備國產(chǎn)化奠定了堅實(shí)基礎，開(kāi)發(fā)區已形成集制造、封測、裝備、零部件及材料、設計企業(yè)在內的完備產(chǎn)業(yè)鏈?！北本┙?jīng)濟技術(shù)開(kāi)發(fā)區投資促進(jìn)局局長(cháng)王延衛告訴記者，目前亦莊集成電路產(chǎn)業(yè)規模占北京市的二分之一。

　　一批代表企業(yè)及研究機構關(guān)鍵裝備及材料、先進(jìn)工藝的開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化等方面取得一批代表國家最高水平的成果，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現自主發(fā)展奠定了堅實(shí)基礎，也確立了北京在全國集成電路產(chǎn)業(yè)布局中的領(lǐng)先地位。

　　未來(lái)，亦莊開(kāi)發(fā)區將致力于成為全球領(lǐng)先的，先進(jìn)新型存儲器、基帶芯片和射頻電路、電力電子及功率器件、集成電路代工及裝備四大高精尖領(lǐng)域的研發(fā)制造中心。同時(shí)，以建立上下游價(jià)值鏈、整合產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈、打造具有國際競爭力的大企業(yè)為依托，積極推進(jìn)中國集成電路產(chǎn)業(yè)的技術(shù)創(chuàng )新、模式創(chuàng )新、制度創(chuàng )新，實(shí)現全產(chǎn)業(yè)鏈在京津冀地區布局集群發(fā)展，成為中國集成電路產(chǎn)業(yè)的核心區與承載地。