控制儀器硬件

當同時(shí)使用多個(gè)儀器時(shí)，對待測器件的源和測量時(shí)序進(jìn)行協(xié)調非常重要。因此，利用可用的軟件方案、以簡(jiǎn)化和/或避免昂貴的編程，是非常有利的。

利用商家提供的免費啟動(dòng)軟件驗證測試系統配置和功能。2600A與2650A系列源測量單元(SMU)提供一款TSP® Express軟件，這是通過(guò)儀器web界面使用的免費軟件。當使用TSP-Link接口創(chuàng )建儀器網(wǎng)絡(luò )時(shí)，可以利用TSP Express軟件來(lái)控制網(wǎng)絡(luò )中的所有儀器。圖1給出3個(gè)源測量單元(SMU)之間的通信設置圖實(shí)例。利用TSP Express軟件，用戶(hù)可以輕松地對一個(gè)或多個(gè)源測量單元(SMU)設置直流和脈沖掃描，同時(shí)，為其他源測量單元(SMU)分配輸出靜態(tài)偏置電壓，或者對每個(gè)掃描的偏置電壓階躍變化進(jìn)行編程。內置的簡(jiǎn)化繪圖軟件，允許用戶(hù)迅速對測量結果進(jìn)行繪圖，并對所有布線(xiàn)、連接以及參數是否正確配置進(jìn)行評估。

圖1 TSP-Link技術(shù)提供無(wú)主機系統擴展，并支持儀器之間的通信、精確定時(shí)以及嚴格的通道同步。

TSP Express軟件還可以訪(fǎng)問(wèn)2651A與2657A型大功率源測量單元(SMU)快速模數轉換器(ADC)能力。利用TSP Express軟件，可以從2651A型源測量單元(SMU)輸出一個(gè)脈沖通過(guò)測試系統，并獲得響應。利用這些結果可以設置所需的源和測量延遲，確保脈沖負峰期間的數據采集。

利用參數測試軟件還可以簡(jiǎn)化分立半導體器件測試。這類(lèi)軟件包括測試數據庫(含預先確定的測試)，可以簡(jiǎn)化各種器件的數據采集。如果采用多個(gè)源測量單元(SMU)系統對于半導體器件進(jìn)行測試，并使用手動(dòng)探測器或測試夾具接觸器件，那么推薦使用吉時(shí)利ACS基礎版軟件。如果利用半自動(dòng)或自動(dòng)探測器接觸器件，則推薦使用吉時(shí)利ACS標準軟件。