優(yōu)化儀器建立，確保優(yōu)良測量

一旦系統建立完畢，就要對其功能進(jìn)行測試，并優(yōu)化儀器建立，以獲得最佳測量。

對于開(kāi)啟狀態(tài)特性分析

在當今進(jìn)行的大部分開(kāi)啟狀態(tài)特性分析中，為了實(shí)現最小熱量，都對器件施加脈沖信號。此外，許多功率半導體器件的最終應用也都是在脈沖條件下工作的。讓源測量單元(SMU)的輸出脈沖通過(guò)測試系統，并捕獲器件端口響應，使測試系統具備合格的脈沖信號能力。吉時(shí)利2651A型大功率系統數字源表內含高速模數轉換器(ADC)，可以同時(shí)對電流波形和電壓波形進(jìn)行數字化。這些模數轉換器(ADC)對確定系統脈沖性能非常有益。如果脈沖形狀出現異常，要檢查電纜，確保引線(xiàn)電感最小化。盡可能使用吉時(shí)利公司提供的低阻抗同軸電纜，同時(shí)要使其他引線(xiàn)的感應環(huán)路面積最小。

對于關(guān)閉狀態(tài)特性分析

了解系統的源和測量建立時(shí)間。進(jìn)行器件關(guān)閉狀態(tài)測量時(shí)通常使用高壓源，其中電流較低，器件處于高阻抗狀態(tài)。不過(guò)，可能存在無(wú)法避免的系統電容，而且器件本身也有一定電容。功率半導體晶體管輸出電容一般在100pF以上。在關(guān)閉狀態(tài)，器件電阻可能達到1GΩ以上，使得單一RC時(shí)間常數為100毫秒或更長(cháng)。注意圖1中充電電容器的電壓時(shí)間曲線(xiàn)圖。為了生成設定的讀數，必須等待至少4～6個(gè)時(shí)間常數(4個(gè)時(shí)間常數 = 99%)的時(shí)間，這可能意味著(zhù)需要將近1秒鐘的建立時(shí)間。在估算生產(chǎn)吞吐量或長(cháng)時(shí)間測試(如器件可靠性測試)所需時(shí)間時(shí)，要考慮這個(gè)建立時(shí)間。

圖 1 100pF電容器充電的電壓時(shí)間曲線(xiàn)。讀數設置為時(shí)間常數的4～6倍。T = RC時(shí)間常數。

如果使用同軸連接取代三軸連接，要清楚：為了獲得精確和可重復的低電流測量，還需要額外的建立時(shí)間。除了器件的RC，現在建立時(shí)間還包括電纜以及測試臺或夾具的RC時(shí)間常數。通過(guò)在測試系統輸入端施加電壓階躍，并測試輸出端的電流隨時(shí)間延遲，就可以分析整個(gè)建立時(shí)間。吉時(shí)利2657A型或2651A型數字源表采用最快的模數轉換器(ADC)，為用戶(hù)提供迅速而簡(jiǎn)易的獲得建立時(shí)間信息的方法。器件測試時(shí)，通過(guò)觀(guān)察電流下降至低于器件預期本底噪聲的時(shí)間，來(lái)選擇測量延遲。