MEMS壓力傳感器應用
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電容式壓力傳感器利用MEMS技術(shù)在硅片上制造出橫隔柵狀，上下二根橫隔柵成為一組電容式壓力傳感器，上橫隔柵受壓力作用向下位移，改變了上下二根橫隔柵的間距，也就改變了板間電容量的大小，即△壓力=△電容量（圖5）。電容式壓力傳感器實(shí)物如圖6。
圖5 電容式壓力傳感器結構
圖6 電容式壓力傳感器實(shí)物
MEMS壓力傳感器廣泛應用于汽車(chē)電子：如TPMS、發(fā)動(dòng)機機油壓力傳感器、汽車(chē)剎車(chē)系統空氣壓力傳感器、汽車(chē)發(fā)動(dòng)機進(jìn)氣歧管壓力傳感器（TMAP）、柴油機共軌壓力傳感器；消費電子：如胎壓計、血壓計、櫥用秤、健康秤，洗衣機、洗碗機、電冰箱、微波爐、烤箱、吸塵器用壓力傳感器，空調壓力傳感器，洗衣機、飲水機、洗碗機、太陽(yáng)能熱水器用液位控制壓力傳感器；工業(yè)電子：如數字壓力表、數字流量表、工業(yè)配料稱(chēng)重等。
典型的MEMS壓力傳感器管芯（die）結構和電原理如圖7所示，左是電原理圖，即由電阻應變片組成的惠斯頓電橋，右是管芯內部結構圖。典型的MEMS壓力傳感器管芯可以用來(lái)生產(chǎn)各種壓力傳感器產(chǎn)品，如圖8所示。MEMS壓力傳感器管芯可以與儀表放大器和ADC管芯封裝在一個(gè)封裝內（MCM），使產(chǎn)品設計師很容易使用這個(gè)高度集成的產(chǎn)品設計最終產(chǎn)品。
圖7 典型的MEMS壓力傳感器管芯（die）結構和電原理
MEMS壓力傳感器Die的設計、生產(chǎn)、銷(xiāo)售鏈
MEMS壓力傳感器Die的設計、生產(chǎn)、銷(xiāo)售鏈如圖9所示。目前IC的4寸圓晶片生產(chǎn)線(xiàn)的大多數工藝可為MEMS生產(chǎn)所用；但需增加雙面光刻機、濕法腐蝕臺和鍵合機三項MEMS特有工藝設備。壓力傳感器產(chǎn)品生產(chǎn)廠(chǎng)商需要增加價(jià)格不菲的標準壓力檢測設備；
圖9 MEMS壓力傳感器Die的設計、生產(chǎn)、銷(xiāo)售鏈
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